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杜邦计划在韩国投资2800万美金建造EUV 光刻胶工厂
文 | 小C君 · 编译 | Nina
来源 :Thelec
CINNO Research 产业资讯,美国化学材料企业杜邦计划在韩国投资2800万美金建造EUV 曝光制程光刻胶(PR)工厂。PR是去年7月份开始被日本限制出口至韩国的3大品类之一。
韩国产业通商资源部在美国时间8日表示:杜邦为了在韩国建造PR开发与生产设施,向KOTRA(大韩贸易投资振兴公社)提交了投资申报书。投资将从2020年开始到2021年,地点为原持有生产地忠南天安。
投资用处为EUV用PR和化学机械研磨板(CMP)生产。PR是在晶圆绘制Pattern的曝光平板印刷术(Lithography)材料。EUV制程PR对于日本的依赖度极高,日本JSR、信越、TOK等公司的全球市占率达90%以上。
CMP板是用化学机械方式研磨半导体晶圆表面以达到平坦化目的的材料。杜邦在CMP领域的全球市占率为80%以上,为领头企业。韩国政府期待本次投资后可以发挥进口替代效果,进一步加强CMP材料生态链。韩国政府将杜邦投资用地划分为外国人投资地区,并给与租金减免等优惠。
杜邦社长John Kemp在提交投资申报书的仪式上表示:为了EUV 光刻胶的开发与生产,将与韩国主要客户进行测试并开展紧密合作。
产业部相关人士表示:对于材料、零部件、设备、新产业领域的有潜力企业,政府会主动提出激励方案进行协商。投资决策后政府和相关地方和机关也会联合成立专项小组,提供问题解决协助等支援。
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