【志宏校长奖｜科学研究（一）】杨冬野：材料科学赋能集成电路装备

【志宏校长奖•科学研究】

杨冬野：材料科学赋能集成电路装备

编者按：2024年是学校全面贯彻落实党的二十大精神的关键之年，是落实“十四五”规划的攻坚之年。学校擘画发展宏图，建设人才高地，出台《上海工程技术大学“志宏校长奖”评选办法（试行）》，旨在鼓励潜心教育教学、科学研究的教职人员，深刻把握新时代推动新质生产力发展的科学内涵和基本特征，洞悉新时代“科教融合”的发展路径，做教书育人的“大先生”、科技自立自强的“助推人”，在学校持续优化的制度保障和激励平台上大有作为。

杨冬野教授，是学校材料科学与工程学院智能材料研发及产业化科研团队负责人，其带领的科研团队，面对近年来集成电路装备的产业亟需，开展了“高刚度不锈钢复合材料研制和开发”“稀土氧化物等离子防护涂层粉末制备”和“基于数字孪生技术的平台控制系统”的研发工作，收获基于“平板显示干法刻蚀系列G4.5、G5.5、G6.5及G7平台研发”的横向系列课题3项，累计科研经费1200余万元，授权发明专利10余项，专利成果转化3项，授权软著2项。科研团队与行业企业深度合作，设计并开发用于半导体平板显示干法刻蚀系列平台，研制并完成型号定型和首台套的销售，实现了该装备在半导体工程领域的应用，是我校“坚持依托现代产业办学、服务经济社会发展的办学宗旨”的优秀践行者。

杨冬野教授及团队高度重视学科交叉、互补对创新发展的重要作用，始终秉承团队合作“1+1”大于“2”的协同效应，聚焦集成电路领域，跨学科组建了智能材料研发及产业化科研团队，旨在通过汇聚不同学科的专业知识和技术，共同推动集成电路装备的技术积累。在科研团队的日常工作中，组织学科间的研讨与交流，鼓励团队成员打破学科壁垒，以更开放的姿态进行合作与交流，团队成员间结合“材料研发”“工业设计”和“数字化”方面的科研基础，勇于尝试新的研究思路和方法，于挫败中积累经验，在集成电路干法刻蚀平台的硬件和软件的设计开发技术上实现创新。

杨冬野教授及团队始终坚持科研反哺教育的执教理念，致力于提升材料类应用型人才的培养质量。与学生建立了定期交流研讨的机制，通过不断深化产教融合，将产业需求与教育目标紧密结合，为学生提供丰富的实践机会和职业发展指导。指导学生参加各类竞赛，屡获佳绩，荣获上海市新材料大赛一等奖，挑战杯上海市大学生创业计划竞赛铜奖等。指导的研究生人均发表SCI论文2篇，申请专利2项。有3名学生被评为上海市优秀毕业生，为集成电路、材料行业和社会培养了一批优秀人才。

来源 | 新闻网

责任编辑 | 张鑫

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