9月3日，半导体集成电路零部件产业佛山峰会在南海召开，来自全国相关领域160余家企业的400余位代表齐聚一堂。季华实验室首批孵化企业佛仪科技（佛山）有限公司（以下简称“佛仪科技”）携新研发的射频及微波电源产品亮相峰会，备受关注。
“佛山产业基础发达，这是一片沃土；但目前还需要引进更多的企业，将这个产业发展起来。我们希望3到5年内，把佛山建设成为中国最重要的集成电路零部件生产基地。”集成电路产业技术创新战略联盟理事长、季华实验室理事长兼主任曹健林说。
除了家电领域，半导体集成电路技术广泛应用于互联网应用、信息系统集成、电子产品整机制造、集成电路设计等行业，对佛山而言，未来有何想象空间？峰会上，季华实验室举行半导体集成电路技术相关的科研成果发布会，集中“秀肌肉”。
作为季华实验室科技创新平台孵化的首批企业代表，佛仪科技此番在峰会秀出的新品射频及微波电源产品备受关注。其中，JHL-MW6000微波电源发生器是该公司自主研发的一款微波电源产品，它作为一种高性能、低成本的微波发生器，能提供6KW、2.45GHz微波源，在微波功率调节至最大输出功率的1%以下，仍可保证波动小于2%的精度水平。
JHL-MW6000微波电源发生器把能量功率以微波的形式输出，适用于控制工业等离子源，该电源作为集成电路装备核心零部件，可用于等离子刻蚀、等离子增强化学气相沉积、等离子清洗、离子注入、离子辅助沉积等半导体关键工序设备，也可用于太阳能板、面板制造行业中。
此外，季华实验室经过一年多的努力，已经初步成功研制了射频电源，得到了广东省科技厅和国家相关项目的支持，并在一些大企业投用。据了解，佛仪科技是应半导体产业需求和佛山创新性城市建设需求而设立的一家先进制造科学技术公司，其服务对象涉及微波技术、真空技术以及半导体技术等领域，经营范围包括半导体真空设备及其关键器件的研发和产业化、半导体真空设备及其关键器件的设计服务等。佛山本地半导体龙头企业、华芯微特科技有限公司总经理韩智毅看好佛山未来的半导体集成电路技术以及产业的发展。“以我们的MCU芯片技术来说，过去基本掌握在日本以及欧美等厂商手里，这种核心零部件实际上就是制约我们集成电路零部件的‘卡脖子’问题。”韩智毅说，“我们自主研发的芯片已经在志高空调上量产使用，和美的也正在洽谈。我们希望通过3～5年的时间内，起码在家电领域，彻底解决‘卡脖子’的问题。”
“佛山正在经历产业升级，但从半导体元器件、装备来看，甚至在泛半导体产业，佛山的基础还很薄弱。”季华实验室理事长兼主任曹健林表示，季华实验室定位于先进制造，建设初期就把半导体技术与装备作为重要的发展方向。过去一年多，季华实验室在引进人才、组织队伍、实验室建设等方面做了很多工作。“真空设备乃至射频电源是一个方向，季华实验室将来还会在显示装备以及光学、精密机械等领域布局。”他进一步表示，现在佛山集成电路零部件产业还是“空白”，希望未来三至五年会成为最重要的集成电路零部件产业制造基地之一。
“半导体产业的先进材料、先进装备和先进元器件都处在产业的高端，希望优秀企业到佛山来发展。”曹健林表示，一般来说，家电产业的利润率很难超过10%，装备制造产业规模虽然不会很大，但技术含量高，毛利润会达到50%。明年6月，季华实验室预计会有13.5万平方米的实验室竣工，届时会有大量成果呈现出来。
来源：广州日报、南方都市报、佛山日报
编辑：南海桂城微信编辑小组 杨洁怡
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