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2022年半导体光刻胶行业研究报告

来源:光大证券

摘要


半导体工业沿摩尔定律向前发展,光刻技术是基石。摩尔定律的延续离不开光刻技术的进步,目前全球最为顶尖且实现量产的光刻工艺为台积电的5 nm制程工艺(2020年),3 nm制程工艺预计将于2022年正式投产。而大陆方面,最为领先的晶圆代工企业中芯国际已于2021年实现7 nm制程工艺的突破,但仍与世界顶尖水平存在着约2代技术的差距,对应的技术研发周期约为3-4年。


半导体光刻胶为晶圆制造核心材料,大陆产品仍存较大技术差距。在所有的晶圆制造材料中,半导体光刻胶凭借其复杂且精准的成分组成要求而具有最高的价值含量。半导体光刻胶产品由低端到高端可分为g线、i线、KrF、ArF和EUV光刻胶,最高端的EUV光刻胶基本被日本和美国企业所垄断。大陆方面目前仅实现了KrF光刻胶的量产,ArF光刻胶产品仍处于下游客户验证阶段并未形成实际性的量产产能,而最高端的EUV光刻胶的技术储备近乎空白。


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