【招商电子】盛美上海点评报告：拓展前道涂胶显影和PECVD设备，打开未来成长天花板

盛美上海自2022年11月18日以来先后发布第一款前道涂胶显影Track机和PECVD机台，均即将发往国内客户验证。公司出货量不断突破，两款新品使得面向全球市场空间翻倍，展望公司长期增长态势向好，维持“增持”投资评级。

盛美上海产品出货量不断突破，获得海内外重复订单。公司起初聚焦单片兆声波清洗设备，不断扩展产品业务，目前形成了IC专用清洗设备（包括单片、槽式、单片槽式组合清洗、背面清洗、边缘刻蚀清洗、刷洗等）、前道铜互连及先进封装电镀设备、先进封装湿法设备和立式炉管设备等产品。截至2022年11月16日，清洗设备累计出货从2000提升到3000腔，电镀设备实现500腔出货；槽式清洗设备和电镀设备拿到国内外大厂订单，开拓全球重量级客户，获得美国主要国际半导体制造商SAPS单片清洗设备2台订单。

盛美上海发布前道涂胶显影Track和PECVD设备，正式进入前道光刻和PECVD领域。1）涂胶显影Track：公司于2013年发布第一款涂胶显影机并取得订单，于2022年11月18日成功推出12寸前道track机Ultra LITH，适用I-Line、KrF、ArF工艺；该产品具有4个装载端口、8个涂层室、8个显影室，未来可扩展到12个涂层室和12个显影室；产品现阶段支持300片/h，未来有望支持400片/h；2）PECVD设备：公司于2022年12月12日正式发布第一款PECVD设备Ultra Pmax，其配置了自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计。该设备采用单腔体模块化设计，有两种配置：一种是可以配置一至三腔体模块，适合极薄膜层或快速工艺步骤；另一种是可以配置四至五腔体模块，支持厚膜沉积以及更长的工艺时间。以上两种配置中，每个腔体都安装有多个加热卡盘，以优化工艺控制并提高产能。

ArF型号Track机即将发往国内客户验证，PECVD设备预计几周内发往国内客户验证。1）涂胶显影Track：新品目前主要在内部测试，预计在年底将ArF型号将发往国内客户验证，同时公司将于2023年推出I-Line型号设备并已开始着手KrF设备研发；2）PECVD设备：新品面向逻辑和存储端，公司预计将在几周内向一家国内客户交付其首台PECVD设备。

公司涂胶显影和PECVD新品打开未来成长天花板。2021年全球前道涂胶显影市场大约37亿美元，薄膜沉积设备市场接近200亿美元，其中PECVD占比约33%即66亿美元，两款新品使公司面向全球市场空间翻倍增加。

投资建议：公司当前在手订单饱满，产能持续扩充，涂胶显影Track和PECVD新品打开远期成长空间，展望未来公司成长动力充沛。我们预计公司2022/23/24年收入为28.2/34.6/43.3亿元，对应PS为12.7/10.4/8.3，预计2022/23/24年归母净利润为6.2/6.7/8.2亿元，对应PE为57.9/53.8/43.6，维持“增持”投资评级。

风险提示：晶圆厂资本支出不及预期、客户验证及导入不及预期、行业竞争加剧、疫情影响发货及收入确认节奏、厂房建设不及预期的风险。

团队介绍

（团队亟需有志于硬科技产业研究的优秀人才加入，新招人员将以深圳为主，兼顾上海和北京，如有意向，请准备简历和一份深度研究代表作，通过微信或[e-mail]邮箱发送给鄢凡，也欢迎各位业内朋友推荐优秀人才）

鄢凡：北京大学信息管理、经济学双学士，光华管理学院硕士，14年证券从业经验，08-11年中信证券，11年加入招商证券，现任研发中心董事总经理、电子行业首席分析师、TMT及中小盘大组主管。11/12/14/15/16/17/19/20/21年《新财富》电子行业最佳分析师第2/5/2/2/4/3/3/4/3名，11/12/14/15/16/17/18/19/20年《水晶球》电子2/4/1/2/3/3/2/3/3名，10/14/15/16/17/18/19/20年《金牛奖》TMT/电子第1/2/3/3/3/3/2/2/1名，2018/2019 年最具价值金牛分析师。

曹辉：上海交通大学工学硕士，2019/2020年就职于西南证券/浙商证券，2021年加入招商电子团队，任电子行业分析师，主要覆盖半导体领域。

王恬：电子科技大学金融学、工学双学士，北京大学金融学硕士，2020年在浙商证券，2021年加入招商电子团队，任电子行业分析师。

程鑫：武汉大学工学、金融学双学士，中国科学技术大学统计学硕士，2021年加入招商电子团队，任电子行业分析师。

谌薇：华中科技大学工学学士，北京大学微电子硕士，2022年加入招商电子团队，任电子行业分析师。

联系方式

鄢   凡 18601150178

曹   辉  15821937706 

王   恬  18588462107

程   鑫  13761361461

谌   薇  15814056991

投资评级定义

股票评级

以报告日起6个月内，公司股价相对同期市场基准（沪深300指数）的表现为标准：

    强烈推荐：公司股价涨幅超基准指数20%以上

    增持：公司股价涨幅超基准指数5-20%之间

    中性：公司股价变动幅度相对基准指数介于±5%之间

    回避：公司股价表现弱于基准指数5%以上

行业评级

以报告日起6个月内，行业指数相对于同期市场基准（沪深300指数）的表现为标准：

    推荐：行业基本面向好，行业指数将跑赢基准指数

    中性：行业基本面稳定，行业指数跟随基准指数

    回避：行业基本面向淡，行业指数将跑输基准指数

重要声明

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