【招商电子】芯源微点评报告：推出浸没式涂胶显影新品，前道Track布局进一步完善
2022年12月17日，芯源微正式发布前道浸没式高产能涂胶显影机新品FT（III）300。目前公司拥有offline、I-line、KrF、ArFi等机型，国内前道涂胶显影机龙头地位进一步巩固，长期增长动力充沛，维持“增持”评级。
公司正式发布浸没式高产能涂胶显影机台，可实现每小时300片以上产能。2022年12月17日，芯源微正式发布前道浸没式高产能涂胶显影机新品FT（III）300，产品满配36 Spin处理单元，搭载公司自主研发的双向同步取放机械手，能够匹配全球主流光刻机联机生产，可在复杂工艺下实现300片以上产能。此外，机台还搭载了公司开发的精确温度调制（PTM）技术，使热盘烘烤温度均匀性达到业界领先水平；全新的Spin单元实时控制技术，可有效提升机台运动控制及流体控制精度、响应性及稳定性；通过仿真优化设计整机流场，确保内部微环境均匀稳定，提升整机的洁净度等级；全系列辅助功能单元，包含AOI、WEE系统等，可在线式检测晶圆工艺缺陷，减少不良品流出。
公司前道Track产品矩阵进一步完善，将实现在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全覆盖。该款机型通过选配可全面覆盖KrF、ArF dry、ArF浸没式等多种光刻技术，也适用包括SOC、SOH、SOD等在内的其他旋涂类应用。为应对未来光刻机产能的不断提升，该机型还可扩充至更多处理单元，由目前的36 Spin扩展为48 Spin，产能提升到每小时360片。
前道Track多产品线获得批量重复订单，未来有望进一步推出前道化学清洗机。公司前道offline、I-line、KrF均量产，其中I-Line、KrF获得多个头部客户批量订单，如今ArFi机台正式推出，巩固公司国内前道Track龙头地位；公司前道物理清洗获得大客户批量重复订单，未来将进一步推出前道化学清洗机，并预计逐步拓展中国台湾及海外市场。
投资建议：芯源微正式推出前道浸没式Track机台，进一步巩固国内涂胶显影龙头地位，并且未来将进一步推出前道化学清洗机。展望未来2-3年，公司前道产品有望持续放量，收入将保持健康增长态势，我们预计2022/23/24年公司营收为13.20/18.75/24.11亿元，对应PS为13.1/9.2/7.2倍，同时预计2022/23/24年归母净利润为1.89/2.38/3.12亿元，对应PE为91.5/72.9/55.6，维持“增持”评级。
风险提示：后续晶圆厂资本支出不达预期、疫情反复、客户验证及导入不及预期、新工艺研发进展不及预期、产能扩张进展不及预期的风险。
团队介绍
（团队亟需有志于硬科技产业研究的优秀人才加入，新招人员将以深圳为主，兼顾上海和北京，如有意向，请准备简历和一份深度研究代表作，通过微信或yanfan@cmschina.com.cn邮箱发送给鄢凡，也欢迎各位业内朋友推荐优秀人才）
鄢凡：北京大学信息管理、经济学双学士，光华管理学院硕士，14年证券从业经验，08-11年中信证券，11年加入招商证券，现任研发中心董事总经理、电子行业首席分析师、TMT及中小盘大组主管。11/12/14/15/16/17/19/20/21年《新财富》电子行业最佳分析师第2/5/2/2/4/3/3/4/3名，11/12/14/15/16/17/18/19/20年《水晶球》电子2/4/1/2/3/3/2/3/3名，10/14/15/16/17/18/19/20年《金牛奖》TMT/电子第1/2/3/3/3/3/2/2/1名，2018/2019 年最具价值金牛分析师。
曹辉：上海交通大学工学硕士，2019/2020年就职于西南证券/浙商证券，2021年加入招商电子团队，任电子行业分析师，主要覆盖半导体领域。
王恬：电子科技大学金融学、工学双学士，北京大学金融学硕士，2020年在浙商证券，2021年加入招商电子团队，任电子行业分析师。
程鑫：武汉大学工学、金融学双学士，中国科学技术大学统计学硕士，2021年加入招商电子团队，任电子行业分析师。
谌薇：华中科技大学工学学士，北京大学微电子硕士，2022年加入招商电子团队，任电子行业分析师。
联系方式
鄢 凡 18601150178
曹 辉 15821937706
王 恬 18588462107
程 鑫 13761361461
谌 薇 15814056991
投资评级定义
股票评级
以报告日起6个月内，公司股价相对同期市场基准（沪深300指数）的表现为标准：
强烈推荐：公司股价涨幅超基准指数20%以上
增持：公司股价涨幅超基准指数5-20%之间
中性：公司股价变动幅度相对基准指数介于±5%之间
回避：公司股价表现弱于基准指数5%以上
行业评级
以报告日起6个月内，行业指数相对于同期市场基准（沪深300指数）的表现为标准：
推荐：行业基本面向好，行业指数将跑赢基准指数
中性：行业基本面稳定，行业指数跟随基准指数
回避：行业基本面向淡，行业指数将跑输基准指数
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