GlobalFoundries推出业内首个22nm FD-SOI工艺
去年GlobalFoundries收购IBM晶圆厂业务不仅没有掏钱,反而获得15亿美元补贴,而来自蓝色巨人深厚的半导体技术研发积累使得GlobalFoundries得以继续发展22nm SOI工艺。而就在昨天,GlobalFoundries宣布推出全新的“22FDX”工艺平台,全球第一家实现22nm FD-SOI(全耗尽绝缘硅),专为超低功耗芯片打造。
据悉,FD-SOI技术不同之处在于其仍采用平面型晶体管,而像半导体制造大户Intel、三星以及台积电早已采用立体晶体管(FinFET),不过目前GF也有FinFET工艺。但,这项技术毕竟是IBM留给GF的遗产,并且前者还是后者的大客户,所以GF怎么着也得把看似尴尬的22nm FD-SOI继续下去,并且GF还希望能把该工艺做到在持平28nm工艺成本的前提下实现14nm工艺级别的性能。
GlobalFoundries官方表示,FD-SOI工艺功耗比28nm HKMG降低了70%,同时芯片面积比28nm Bulk缩小了20%,光刻层比FinFET工艺减少接近50%,芯片成本比16/14nm低了20%。而在功耗方面,其电压可以做到业界最低的0.4V,并可通过软件控制晶体管电压,还集成了RF射频,功耗降低最多50%,它甚至可以提供类似FinFET工艺的性能。但从数据层面来看,22nm的FD-SOI工艺似乎是达到了GF之前对其的期望。
而关于投产时间,GF称将投资2.5亿美刀于2016年下半年在德国德累斯顿工厂开始生产。IBM、ARM、Imagination、意法半导体、飞思卡尔、VeriSilicon、IBS、Semeria、Soitec等厂商表示将会支持这一工艺。
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