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最新发布:“芯片制造抛光装备与成套工艺”获特等奖!

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今天(9月9日),2019年中国机械工业科学技术奖建议授奖项目公布,共有365项获奖项目。其中,清华大学路新春等人完成的《芯片制造抛光装备与成套工艺》获技术发明类特等奖深圳市兆威机电股份有限公司石照耀等人完成的《面向智能设备的微型传动成套技术及产业化》获科技进步类特等奖


如需查看奖励全名单,请在公众号后台对话框回复“2019机械”即可下载。


文 | 材料科学与工程公众号,图 | 中国机械工业科学技术奖奖励工作办公室


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