24%TOPCon电池量产关键技术及解决方案

⚫ TOPCon电池工艺和设备已趋于成熟，预期工艺流程≤PERC电池 

⚫ TOPCon电池量产关键技术：隧穿氧化层、多晶硅掺杂、绕镀清洗

-开发的隧穿氧化层生长工艺解决片内与片间的均匀性，改善数据离散性和良率问题

-基于离子注入单面掺杂，精确控制掺杂浓度和深度

-开发无掩膜的多晶硅绕镀清洗工艺，简化工艺流程 

⚫ TOPCon电池量产平均效率23.5%，制定24%效率的技术方案

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