【节选】半导体设备下半年策略：国产集成电路工艺设备全线出击
1、刻蚀、清洗、CMP、退火设备、去胶设备等的国产化趋势较好，而CVD、量测、离子注入机、光刻机、涂胶显影设备的国产化率低，几乎100%依赖于进口品牌；
2、行业景气度持续向好，已完成工艺验证的设备将加速进口替代，下游本土客户采购国产设备的意愿显著增加；
3、2019年主要产线的设备招投标进度在加快，预计国产集成电路工艺设备企业订单数量增长100%以上；
4、重点推荐北方华创、精测电子、晶盛机电，建议关注中微半导体、盛美半导体、长川科技、至纯科技等。
1、与产业规模不匹配的国产半导体设备
从芯片市场看，2018年全球芯片消费4000多亿美元，中国芯片消费市场2000多亿美元，占到全球芯片消费的50%-60%。
从晶圆代工看，2018年全球晶圆代工销售额642亿美元，中国仅60亿美元，全球占比仅为9.3%较2017年的8.8%略有上升。
2018年全球半导体制造设备订单合同额为645亿美元，其中中国大陆以年增59%达到131.1亿美元。但根据中国半导体协会数据，我们估计国内半导体设备企业的销售额为44亿元，折合6.6亿美元，全球占比1%。
2、大陆半导体设备市场需求爆发，但国产化率仍很低
从SEMI统计的数据表明，我国半导体设备市场规模从2012年25亿美元增长至2018年131亿美元，年均复合增速32%。
单位：10亿美元
从SEMI统计的数据表明，我国半导体设备市场规模在全球市场中的比重，从2005年仅占4%，升至2012年的7%，在上升至2018年的20%，表明半导体产业向中国大陆转移的趋势十分明显。
根据中国半导体协会统计国内半导体设备企业2018年销售额估计为35-40亿元左右，而2018年国内半导体设备市场规模是131亿美元，按此金额推算，我国2018年半导体设备的国产化率仅为4.0%-5%。
如果考虑将在大陆扩产的外资晶圆厂排除在外，粗略估计本土晶圆厂建产带来的设备需求估计仅占1/2，从而推算国产设备在本土晶圆厂的设备采购中的比例将达到8%-10%左右（即国产化率）。
1、国产化的实证分析
根据中国国际招标网数据统计，我们选择3个具备代表性的项目按订单台数口径计算，本土晶圆厂的工艺设备国产化率大约是9.6%，如果剔除量测设备外，工艺设备国产化率约为15%。在各类工艺设备中，国产化率情况依次是：
（1）CMP：国产化率为12%，国产厂商仅有华海清科1家；
（2）PVD：国产化率为13%，国产厂商仅有北方华创1家；
（3）刻蚀：国产化率为21%，包括3家国产厂家即北方华创、中微半导体以及屹唐半导体；
（4）清洗设备：国产化率22%，国产清洗设备主要由盛美半导体、北方华创供应；
（5）去胶设备：国产化率87%，国产去胶设备厂家仅有屹唐半导体1家；
（6）热处理：国产化率达到25%，主要是北方华创；
（7）离子注入机：国产化率仅1.6%，仅中科信供应1台设备；
（8）量测设备：国产化率为0.3%，仅上海睿励在2017年底供应了1台膜厚设备；
（9）光刻设备：全部为进口品牌；
（10）涂胶显影：国产化率2.5%，主要是沈阳芯源主导涂胶显影国产化；
（11）镀铜设备：国产化率为11%，是盛美半导体新产品。
以某产线为例，各类工艺设备的供应商订单份额的情况如下：
（1） CMP：Applied Materials占65%，荏原制造所占29%，华海清科占6%；
（2） CVD：Applied Materials占66%，Lam Research占12%，日立科技占12%，TEL占4%，沈阳拓荆占3%，其他占3%；
（3） PVD：Applied Materials占90%，北方华创占比10%；
（4）离子注入机：Applied Materials占53%，Sumitomo占36%，Axcelis占7%，中科信占4%；
（5） 刻蚀：Lam Research占56%，TEL占18%，中微半导体占13%；
（6） 清洗设备：DNS占56%，Lam Research占22%，盛美半导体占20%；
（7） 热处理：TEL占比44%， Applied Materials占26%，日立科技占比18%，北方华创占9%，屹唐半导体占3%；
（8） 光刻设备：全部采购ASML；
（9） 涂胶显影：主要来自TEL。
2、国产设备步入高速增长
仍以以上3条产线为例，各家国产半导体设备厂商自2016年以来，共获170台工艺设备订单，其中：
（1）第一梯队：屹唐半导体、北方华创、中微半导体以及盛美半导体，分别累计获25-45台设备；
（2）第二梯队：华海清科、沈阳拓荆，累计获得7台设备订单；
（3）第三梯队：睿励、芯源、中科信等，累计获得1-2台设备订单。
从设备类别看，国产设备订单最多的依次是刻蚀设备、去胶设备、热处理设备、清洗设备；其次是CMP、CVD、PVD设备，而量测、离子注入机、涂胶显影、镀铜设备等仅有1-2台订单。
根据国产设备订单数据按年份统计，2016/2017/2018/2019年1-5月依次是2、37、44、87台，可见2019年1-5月新接订单数量已经相当于2018年的2倍左右，表明2019年国产设备再度发力。