中微半导体（688012）：投资上海睿励，支持集成电路工艺检测设备国产化
中微公司（688012.SH）公布中期业绩报告的同时，还公告中微拟以1375万元投资睿励科学仪器（上海）有限公司（简称“上海睿励”），投资完成后持股10.41%。
上海睿励是国内技术领先的集成电路工艺检测设备供应商。上海睿励成立于2005年6月，专注集成电路工艺检测设备已耕耘14余年。上海睿励目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。上海睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品，已应用在28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证，在3D存储芯片上达到64层的检测能力。产品目前已成功进入世界领先芯片客户3D闪存芯片生产线，并取得7台次重复订单。上海睿励开发了应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备，也已成功进入众多客户国内LED外延芯片生产线。
国内集成电路工艺检测设备基本上也被KLA等外资品牌垄断，工艺检测设备国产化率接近为零。根据Gartner统计数据，2018年全球集成电路工艺检测设备市场规模64亿美元，占晶圆制程设备市场的10.8%。2018年KLA设备销售收入33亿美元，市占率约为50%，而应用材料、日立科技等竞争对手市场份额均为10%左右，KLA垄断了全球光学图形化晶圆缺陷检测设备80%左右的市场份额。国内市场也基本上被KLA、应用材料、日立科技、Nanometrics等垄断，仅有上海睿励于2017年11月获得长江存储2台设备订单，表明工艺检测设备国产化进度远低于刻蚀设备、清洗设备和热处理设备的国产化速度。
中微半导体入股上海睿励，有望改善睿励内部治理结构和经营管理，加快推进工艺检测设备国产化。2018年上海睿励收入2733万元，且亏损4037万元，2019年上半年上海睿励收入仅80万元，大幅亏损1890万元。上海睿励目前的问题集中在成熟产品的订单未有可持续订单，本质上是股权过于分散导致股东、管理层、核心技术团人员很难在长达15年的艰苦创业和资金约束下实现共同的发展目标。中微投资上海睿励后，既有望支持上海睿励的工艺测试设备加快国产化，也有助于利用上海睿励已有的产品和技术进行推动中微对刻蚀设备、薄膜设备的研发与销售。
中微上半年业绩高增长，新产品研发主要面向新工序和先进制程。上半年中微收入8.01亿元增长72%，净利润0.30亿元同期亏损1325万元，扣非净利润0.22亿元同期亏损0.45亿元。上半年研发投入达到1.94亿元，占营业收入的比重为24%，与2018年占比25%基本持平，研发支出主要投入到5纳米及更先进的刻蚀设备和工艺优化，以及开发极高深宽的刻蚀设备、更先进的大马士革等刻蚀应用的设备、更大尺寸MOCVD设备。
投资建议：中微在原有刻蚀设备、MOCVD基础上，入股上海睿励布局集成电路工艺检测设备，将打破工艺检测设备全部来自进口品牌的竞争格局，强烈建议关注中微公司、北方华创、盛美半导体、长川科技、精测电子、晶盛机电、至纯科技等。
风险提示：国内半导体下游客户扩产低于预期；关键部件进口受贸易战影响。
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杨绍辉
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