日本半导体设备出口限制升级对我国半导体设备行业影响

作者：光大证券机械团队杨绍辉等，禁止抄袭！！！

事项：根据日经中文网，日本政府3月31日宣布，将高端半导体制造设备等23品类加入到出口管制对象，23品类产品包括极紫外线(EUV)相关产品的制造设备和使存储元件立体堆叠的蚀刻设备等，Tokyo Electron、SCREEN控股和Nikon等约10家日本企业被认为将受到影响。

一、日本在全球半导体设备中占据很重要的行业地位，但不是主导地位。

1、日本厂商在全球半导体设备市场中约占28%，仅次于美国。根据我们对全球主要半导体设备企业2021自然年收入统计，日本设备厂商占全球半导体设备市场的份额达到28%，仅次于美国厂商市占率46%，高于欧洲市占率21%。

2、日本拥有一批知名半导体设备企业。TEL 22财年收入164亿美元（居全球第四，Lam Research 172亿美元位居第三），DNS收入34亿美元， Advantest 34亿美元，Disco 21亿美元，东京精密11亿美元。（数据参考win）

3、前道设备：日本在涂胶显影、介质刻蚀、清洗设备、光刻机、热处理、CVD、量测、CMP等多个设备环节处于十分重要的行业地位。

（1）涂胶显影：根据东京电子（TEL）公告，Tel涂胶显影设备的全球市占率89%；

（2）干法刻蚀：TEL市占率29%；日立高科技也有蚀刻系统9000系列；

（3）清洗设备：TEL市占率25%，DNS市占率更高；

（4）ALD：TEL市占率29%，KE也有炉管ALD；

（5）CVD：TEL市占率44%；

（6）氧化扩散炉管：TEL市占率51%；

（7）CMP：Ebara是全球第二大供应商

（8）量测：日立高科技处于CD-SEM垄断地位，LASERTEC处于EUV掩膜版垄断地位；

（9）光刻机：Nikon、佳能也是全球重要的光刻机供应商，尼康覆盖型号较全。

4、封测设备：探针台、划片机、测试机等设备处于全球垄断地位。

（1）探针台：TEL市占率47%，东京精密也是核心供应商；

（2）划片、减薄：Disco处于绝对垄断地位；

（3）测试设备：Advantest与美国泰瑞达平分秋色。

5、晶圆生长与加工设备：切磨抛设备主要来自日本厂商。

二、日本厂商来自中国大陆的收入占比普遍在20%-30%上下，出口限制或将影响日本厂商销售额。

1、东京电子：22自然年第四季度来自中国大陆的收入占比22%；

2、爱德万：22自然年第四季度来自中国大陆的收入占比33%；

3、Disco：22自然年第四季度来自亚洲地区收入来源约占2/3；

4、迪恩士：22自然年第四季度来自中国大陆的收入占比11%，预计下一季度升至25%。

三、日本对半导体设备出口限制升级，国产半导体设备厂商将迎难而上。

在日本厂商垄断程度较高的设备环节中，国产设备厂商均已有布局：

1、 涂胶显影：芯源微、盛美上海；

2、 CCP刻蚀：中微公司；

3、 清洗设备：盛美上海、芯源微、北方华创等；

4、 CD-SEM：东方晶源、上海精测；

5、 探针台：长川科技，矽电股份；

6、 晶圆切割：和研科技、光力科技、迈为股份；

7、 减薄设备：华海清科；

8、硅片加工设备：晶盛机电。

四、半导体行业供应链阵容分化，技术创新与可控的趋势不可逆。