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2017年微纳米加工技术讲习班等你来参加!

2017-06-13 微加工实验室 中科院物理所

微纳加工领域最受欢迎的专业培训课“微纳米加工技术讲习班”开始报名了!


 讲习班时间:7月10--14日。


报名参加微纳米加工技术讲习班的学员,全程免费,提供午餐,还可以领取讲习班课程配套的书籍哟。报名学员有机会进入实验室现场参观微纳加工设备操作演示。



微纳米加工技术讲习班由物理所微加工实验室于2005年开始举办,旨在系统介绍微纳米加工技术的基础、应用和最新前沿进展,目前已成功举办8次,累计参加人数3000余人,均来自全国各高校、科研院所和高科技公司。

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报名方式:发送报名信息——姓名、单位、职称(学生注明年级)至邮箱LMF@iphy.ac.cn


报名人员仅限从事微纳米技术研究的科技人员,高校研究生与高年级本科生。

·       

中科院物理所微加工实验室


中科院物理所微加工实验室于2003年开始运行,2008 年成为科学院“纳米材料与纳米结构加工平台”,2009 年加入“中科院所级公共技术服务中心”和2010 年成为“基金委纳米制造重大研究计划联合实验室”,目前微加工实验室已发展成为面向国内外的技术服务平台,为国内微纳加工技术和人才的交流提供了一个舞台。


微加工实验室现有固定人员10人,其中正高级职称3人,副高级职称3人,中级职称4人,在读研究生共12人,是一支以青年人为主的富有活力的专业技术创新团队。

微加工实验室承担国家科技部、基金委、科学院的重大、重点及一般科研项目30余项,合作发表SCI论文200余篇,获国家授权发明专利20余项,2015年纳米级长度标准样品获国家一级标准物质认证,2015年获北京市科学技术二等奖。


微加工实验室拥有包含万级、千级和百级的近1000 平米超净实验室,主要装备有曝光、刻蚀、沉积、表征、测量及相关辅助设备60余台,微纳加工能力涵盖从微米到亚纳米,从零维到三维。

聚焦离子束刻蚀与沉积系统2台(FIB)

电子束曝光系统2台(EBL)

紫外光刻系统2台(UL)

微加工实验室研究方向

  • 微纳人工结构的加工方法与工艺研究

  • 微纳人工结构的新奇物性研究

  • 微纳人工结构的器件与集成应用研究


特色工作1

提出了利用聚焦离子束操控在悬空纳米薄膜上实现三维微纳结构折叠加工的方法,推动了三维超材料结构的加工、设计及其在红外-可见波段的光学调控、光学探测、主动控制等领域的探索与应用。研究结果发表在Advanced Materials,29(2017) 1606298.   




特色工作2

利用原位检测纳米材料本征物性的方法,首次发现多壁碳管的多通道弹道输运特性和高电流承载能力,证明了多壁碳纳米管有望成为纳电子器件及集成电路的下一代互联导线。研究成果作为Cover story发表在Physics Review Letters, 95(2005)086601.



特色工作3

发展了纳米结构中磁畴壁动力学研究的实验手段和纳米器件构筑方法,发现了点接触宽度与磁畴壁钉扎的动力学规律,首次构筑出利用电驱动和电检测的纳米磁逻辑电路,实现了与传统的CMOS技术兼容。研究结果发表在Nature Nanotechnology, 3(2008)97. 



更多信息请关注实验室主页

http://lmf.iphy.ac.cn/

编辑:yangfz


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