磨剑十年！同济薄膜器件助推强激光技术跨越发展
在1月10日举行的2019年度国家科学技术奖励大会上，同济大学物理科学与工程学院王占山教授领衔完成的“多功能强激光薄膜器件设计与全流程制作技术及应用”项目，获国家技术发明奖二等奖。“该团队历经十余年潜心研究，发明了多功能强激光薄膜器件的新结构、新材料、新制作技术和设备，出成果出人才，获奖实至名归。”业内专家如是说。
十五年前，
团队开始强激光薄膜器件研究
走进我校精密光学工程技术研究所，第一件事就是换衣服、戴帽子、穿鞋套；然后进入第二个房间，“呼呼”的风搜遍全身，原来这是消静电的洁净新风。然后，就进入了眼前一亮的激光薄膜器件的世界了，激光薄膜的优化设计、超精密制作、高精度表征等等都在这些实验室里进行，悄无声息地工作是眼前的景象。“激光薄膜必须一尘不染。”该团队程鑫彬教授介绍，如果薄膜上有一颗灰尘，往往就成了报废激光装置的“引信”。他说，我们实验室出来的光学薄膜要达到的洁净程度，就像在一个420平方米的篮球场里，不允许有一粒芝麻般的灰尘存在。
多年来，王占山创建的精密光学工程技术研究所成果越来越丰富，应用领域越来越广泛。2017年5月19日，团队自主研发的“高性能激光薄膜器件及装置”6项发明专利授权成功转让给润坤（上海）光学科技有限公司，合同金额共计3800万元人民币，创下了同济大学历史上最大额度的技术转移现金合同；转让专利“一种激光薄膜的制备方法”获2018年度第二十届中国专利金奖。润坤公司2017年以来销售激光薄膜元器件超过25000件。不仅如此，团队发明的清洗技术和刻蚀技术的商业应用，近3年便销售了设备40多台，生产厂家获利喜人。
强激光薄膜器件研究
成为吸引人才强磁场
好项目往往成为吸引人才的强大磁场。张众追随王占山读博士，然后走上了X射线和中子多层膜光学与技术的道路，以第一或通讯作者发表中英文论文18篇，申请国家发明专利6项，其中获授权专利5项。他的研究围绕我国精密等离子体诊断、同步辐射、天文探测、散裂中子源等国家重大需求和大科学工程，持续开展“X射线及中子多层膜光学与系统”方向的研究，在国内率先解决了中子超镜制作问题，性能水平达到国际先进；在国际上首创了大集光面积中子超镜聚焦系统，为基于小型加速器中子源开展中子小角散射实验，提供了新的技术路径。曾入选教育部跨世纪优秀人才。
程鑫彬在微纳光学领域展开了卓有成效的工作，开展光频亚波长结构材料和器件相关研究，提升了超光谱成像、激光合束系统以及空间用太阳能电池的性能；在光学薄膜相关技术领域，研制出一系列高功率/高能激光器用高损伤阈值薄膜器件，达到了国际领先水平；在纳米计量传递标准方面，制备出百纳米量级自溯源光栅样品和数十纳米量级多层膜光栅样品，为这些样品成为国家传递标准制定奠定了扎实的技术基础。获得了教育部技术发明奖一等奖（排名第二）等。曾先后入选国家“优青”和“杰青”。
马彬主要从事光学精密检测和强激光作用机制研究，发展了可溯源的激光损伤测试平台，建立了多种损伤测试技术。近年来，以第一或通讯作者发表SCI论文12篇，EI论文5篇；以第一申请人授权发明专利10项，申请2项，登记软件著作权4项。主持国家科技重大专项课题、国家自然科学基金青年基金项目等10多项。
张锦龙主要从事高性能光学薄膜、微结构薄膜的设计、制备及表征等方面的研究。承担5项国家自然科学基金项目、863项目，基金委创新群体“强激光器件基础技术研究”的核心成员之一。在缺陷诱导激光损伤模拟研究、高损伤阈值多功能薄膜研制、超低损耗介质薄膜研制等方面取得一系列研究成果。以第一完成人获得2019度教育部科技进步奖二等奖。
黄秋实主要从事极紫外与X射线多层膜技术研究。揭示了纳米多层膜生长中原子扩散、迁移等物理机制，发展了多种界面调控方法，实现了大尺寸多层膜单色器元件的自主研制和应用，研制的X射线单色器用多层膜已成功用于德国BESSY同步辐射装置，并有望用于上海光源线站工程以及未来的上海硬X射线自由电子激光装置。入选2018年度上海青年科技启明星计划。
文字：程国政