全国80%电子级磷酸“兴发造”

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全国80%电子级磷酸“兴发造”

1月22日，宜昌市猇亭区湖北化学品专区A区，3万吨电子级磷酸厂房内，机器一刻不停地运转。20名工人紧盯着电脑，监测着产线运行。“下游数十家半导体企业等着产品，产线不停工，供应不能断。”越到年前，兴发集团副总工程师杨着越是忙得脚不沾地。厂房里正在生产的电子级磷酸，是芯片制造的重要辅助原料，主要用于半导体晶圆蚀刻，被称为磷化工“皇冠上的明珠”。过去，我国电子级磷酸几乎全部依赖进口，曾是实现芯片国产化的“卡脖子”产品之一。与普通工业磷酸不同，电子级磷酸对纯度要求极高，必须避免因金属离子、颗粒物偏高，导致芯片蚀刻产生杂物，其价格是普通工业级磷酸的近三倍。杨着说，从芯片半成品到成品，有200多道工序，需要10余种电子级高纯湿化学品，任何一种产品都有被“卡”的风险。2008年，兴发集团进军微电子新材料研发，电子级磷酸就是目标之一。宜昌具备得天独厚的磷矿资源优势，但首先要攻克纯度问题。对于彼时的兴发而言，最大挑战是关键核心设备定制和关键金属离子分离难点。在芯片制造行业，技术更新迭代快，每18个月就迭代一次，势必要求电子级磷酸的纯度提升不断加快。经过数年研发攻关，兴发生产的电子级磷酸，纯度从2010年投产时的100ppb，提升到3ppb。2019年，兴发集团“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得国家科学技术进步二等奖。技术问题解决了，随之而来的就是量产和市场。“国产能不能抵得上进口？”这是当时市场上的最大疑惑。另一个巨大压力是，在芯片生产的200多道工序中，电子级磷酸蚀刻环节一旦出问题，芯片就会报废，损失巨大。为拿到国内一家龙头企业的认可和订单，兴发用了两年时间，一步步通过小规模测试、中等规模测试、大规模测试，最终凭借过硬的自主创新，拿下这笔关键订单——国产电子级磷酸上线。望着眼前繁忙的生产线，杨着感慨地说，从实现科技自主和稳定量产，兴发用了近10年。如今，国内市场上80%以上的电子级磷酸均来自兴发，并出口海外。客户中，还不乏多家世界级芯片制造企业的身影。10余种高纯湿电子化学品已有大半实现国产。去年4月，兴发主导投资的湖北化学品专区开建。全部投产后将形成每年55万吨的产能，包括湿电子化学品、电子级硅材料、电子级特气等，进一步实现系列电子化学品国产化稳定供应。（湖北日报全媒记者 金凌云 通讯员 李文洪 谭雪娇）

来源｜湖北日报

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编辑｜吴娱  编审｜李斌 熊勤  终审 | 邹远景

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