西湖大学李兰课题组AOM：制备高折射率对比度柔性集成光子器件的通用方法

随着柔性衬底集成光子学和纳米制造技术的发展，柔性集成光子学已成为一个新的前沿研究领域，在光互联、保形和植入式传感、宽带光子调谐、光遗传刺激与光疗等更广泛的应用领域显示出巨大潜力。聚合物因其出色的柔韧性和低温薄膜沉积能力而被广泛用于柔性光子器件制备。然而，其较低的折射率对比度导致器件尺寸通常较大，不利于高密度集成。无机材料，例如硅基材料、氧化物和硫化物等，具有高折射率对比度和低吸收损耗的特性，这些特性为在柔性衬底上实现强光限制的功能光学结构提供了广泛的选择空间。这种自由度使得研究人员可以根据不同需求精细设计光学结构，使其具有高度可控的光学性能。但是由于聚合物衬底难以承受高温以及高功率等离子体轰击，这导致许多具有优异光学性能的光学材料无法直接在聚合物衬底上沉积，限制了柔性光子学的发展。

近日，来自西湖大学的李兰研究员团队在Advanced Optical Materials上发表文章，报道了一种利用GeO牺牲层实现柔性高折射率对比度的TiO₂和SiN集成光子器件的制备方法。所得器件具有良好的稳定性和出色光学性能。该方法突破了制备柔性光子器件中对材料选择和薄膜沉积工艺的限制，在光子调谐、保形光学传感和生物应用等方面具有巨大的应用潜力。

WILEY

论文信息：

A universal approach to high-index-contrast flexible integrated photonics

Zequn Chen, Yilin Shi, Maoliang Wei, Ye Luo, Hui Ma, Renjie Tang, Yang Weng, Hao Dai, Chuyu Zhong, Chunlei Sun, Lichun Wang, Ke Si, Wei Gong, Hongtao Lin, Lan Li*

Advanced Optical Materials

DOI: 10.1002/adom.202202824

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Advanced

Optical

Materials

期刊简介

Advanced Optical Materials创刊于2013年，是一本报道材料科学领域与光-物质相互作用相关的突破性研究的跨学科国际期刊。其收录论文的研究领域包括光子学、等离激元光子学、超材料等。2021年影响因子为10.05。

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