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刻蚀数据的剥离和提取

结构分析表征 结构分析表征 2022-05-19

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xps深度剖析/深度刻蚀是分析材料多层结构的重要手段,可以分析各个深度的不同组成,在分析数据时,有时需要某层数据情况,如果不剥离,向之前的刻蚀教程,不能单独校正和拟合,此时需要剥离出单层谱图,如何操作,后台回复数据12获取演示数据,后台回复avantage获取软件,后台回复汇总获取公众号所有教程链接:
之前我们介绍过avantage自带的小程序(DataSpace_BatchDump)可以一键转换vgd为avg格式数据,avg可以直接用casaxps打开进行数据分析和转换格式, 这次介绍另外一个小程序ConcatenateDepthProfiles,路径如下:

1.首先双击打开ConcatenateDepthProfiles,可以看到有两个导入数据的地方,如果要合并数据就分别将两份数据分别导入,如果只拆分一段数据或者某一层的数据,只导入一组数据即可;

2.左侧导入一组数据,可以看到总共22层刻蚀,0层为未刻蚀的,如果需要刻蚀15次后的数据,则按图设置,如果需要刻蚀2-15次的所有数据则选择2,15;

3.点击crop firstpart only 将数据拆分出来,此时会显示在最右侧栏内;

4.此时,点击save output data files as导出数据到新的文件夹;

5.双击导出的数据即可看到导出的数据图示,此时可以按照正常的分峰拟合教程进行拟合,

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截至20210321教程汇总


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