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两大光刻巨头发声:中国造不出顶级光刻机!

阿离 5G通信 2022-07-06

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ASML CEO曾表示,中国举国之力也造不出EUV光刻机,即便公开图纸,也没人能造出。

和ASML一样傲慢的还有光刻胶供应商日本JSR,日本JSR公司的CEO埃里克•约翰逊,日前在接受英国媒体《金融时报》的采访时,傲慢地指出中国根本无法掌握基于极紫外光刻技术,或者是被称作EUV光刻技术的复杂芯片制造工艺。

显然,以上两家企业CEO明里暗里的意思都是中国造不出顶级的EUV光刻机。为什么两大光刻巨头敢有如此大胆的发言?其原因和EUV光刻机复杂的供应链以及美国的禁令有关。

不止中国,任何一个国家都不可能单独制造EUV光刻机


我们知道,近几年美国在半导体行业对中国展开了全面围堵,中国现有的半导体供应链已经被美国切断了,而EUV光刻机的供应链则偏偏十分复杂繁重。

据悉制造一台EUV光刻机需要的零件多达10万个,而这些零件来自来自于全球超过5000家企业。ASML的光刻机也是整合/集成了全球顶尖供应商的顶尖技术,诸如美国的光源、德国的镜头/光路系统,以及极端精密的工作台等技术,都是来自世界各地的供应商。在EUV光刻机使用的所有技术中,ASML公司的自主化技术占比在10%左右



显而易见,如果合作方或供应商断了对ASML EUV光刻机的支持,那么ASML也很难生产出光刻机。准确的说,目前不止中国,任何一个国家凭借一己之力,都不可能搞定EUV光刻机使用的所有技术的。

认清现实,尽早实现弯道超车


看到这里或许有人会认为,如果美国停止对国产半导体的制裁,国产光刻机厂商能够得到上游供应商的支持,一样能生产EUV光刻机。但实际上就目前的情况来看,美国并不会在短时间内停止对中国半导体的制裁。

既然短时间制造不出能够生产先进制程芯片的EUV光刻机,所以大家自然就想到了从芯片封装工艺技术领域进行突破。5月6日,华为公开了2项堆叠芯片的发明专利,即“一种多芯片堆叠封装及制作方法”和“芯片堆叠封装结构及其封装方法、电子设备”。


所谓的芯片堆叠工艺技术,简单来说就是在不需要先进的芯片生产工艺技术和光刻机的情况下,采用两颗芯片堆叠的方式组合在一起,再利用先进的芯片封装工艺技术,让芯片实现性能上的提升,从而生产出拥有竞争力的产品来。华为这次的芯片封装堆叠技术并不是没有先例,今年3月,英国AI芯片公司Graphcore发布了一款IPU产品Bow,采用的是台积电两年前的7nm工艺,但是芯片性能却得以提升40%,甚至优于5nm工艺。该项技术就类似于华为提出的芯片堆叠技术。


需要注意的是,即便有成功的案例堆叠芯片技术目前也还存在一些问题比如多颗芯堆叠会导致芯片体积大增,同时会伴随极间漏电流增大整体功耗增加以及发热等问题。更关键的问题是,芯片叠加算力利用率显然不是简单的1+1=2,大部分情况下1+1最多只能得到1.3左右这项技术想要真正走向成熟,也还有一段路程。



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