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重磅!首台国产光刻机正式投用!

5G通信 2023-07-03

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自特朗普制裁中国芯片,如今已然快要过去3年之久,而在过去的两年内,拜登对中国半导体领域的限制有过之而无不及,尤其是在顶尖的技术领域更是百般阻挠。


而作为生产芯片的核心材料光刻机,老美对它的封锁更是做到“滴水不漏”,这不,在前不久新形成的“美,日,荷同盟”中,更是进一步扩大了对中国芯片和光刻机出口的制裁。但最近中企却传出消息,首台上海微电子光刻机顺利搬入!


首台国产光刻机正式投入使用


光刻机作为芯片制作过程中的重要设备,其高端的核心技术目前基本上都被荷兰ASML一家给垄断了,日本的尼康,佳能也只是勉强生产中端的DUV光刻机。



在原来,中国利用荷兰与日本构建的非美产线,可以规避美国的技术封锁,而很显然美国也正是意识到了这一点,所以才有了一月于华盛顿举行的三方会谈。


一直以来对中谨言慎行的ASML也罕见发声:“美国主导的针对中国的半导体出口管制措施,最终会促使中国在高端芯片制造设备领域成功研发出自己的技术,这需要时间,但最终他们会实现目标。”


就在近日,国内市场传出了两条重磅消息传了出来,无疑是成功的证明了中国光刻机自研量产的可行性。


首先,由上海微电子自主研发的首台金凸块封测光刻机(SMEE)正式交付,采购方是深圳同兴达科技公司。该公司成立于2021年12月,主营半导体芯片先进封装测试相关之生产、销售及服务,是同兴达集团最年轻的子公司。


此次搬入仪式的SMEE光刻机是昆山首台金凸块封测光刻机,具有较强延展性,可实现与先进制程芯片相似功能,对缩短国内与国外产品代差具有重要意义。



据了解,昆山同兴达将于今年3月完成设备调试及开始样品试制,规划于今年5月完成量产1000片/月,明年8月将完成一期满产(2W片/月)。


其实,光刻机不是只有制造芯片那一种,除了按光源先进程度分为EUV、DUV、UV以外,按用途还可分为制造芯片用的前道光刻机和封测用的后道光刻机。


要知道我国在封测领域目前可是处于全球领先水平,而上海微电子在封测光刻机领域的市场份额也举足轻重,在国内市场已经达到80%左右,在全球市场也能占到40%。


早在去年,上海微电子就已经推出了首台2.5D / 3D先进的封装光刻机。




国产接近式光刻机已投入市场

步进式光刻机已启动用户优化


这个好消息是从大族激光传来的。这家企业虽然我们之前没怎么听说过,但是也很了不起。


1996年成立于深圳,是国家重点高新技术企业,主营方向是激光加工的解决方案及相关的配套设施。


在激光行业名气非常大,甚至占据了激光行业的“半壁江山”。




让人头疼的是,这里又出来两个新名词:接近式光刻机和步进式光刻机,下面隔壁黑科技就来简单介绍一下。


先说接近式光刻机,它是一种特殊的光刻机,它使用接近光学系统来制作图案。


它的优点很多,可以概括为“三高”,不过指的可不是高血压、高血糖、高血脂,而是高精度、高速度、高效率。一般用于制造微纳米级的半导体器件、生物医学微器件等。



再看步进式光刻机,它是最早的光刻机之一,早在上世纪60年代就开始应用于半导体制造了。它通过使用光学系统,能在基材上制作出很多份相同的图案。


它的优点是“两高”——高速度、高效率,是制造大批量半导体芯片等产品的理想工具,是光刻技术不可或缺的组成部分,在半导体制造、微纳米加工、生物医学等领域多有应用。




对于现阶段的国产半导体而言,这些光刻机的落地有着重大意义,无论是5G基站的分立器件领域,或者LED等智能电子领域,国内市场都基本搭建出了完善的设备、材料和技术产业体系,为一举打破西方封锁垫底了坚实的基础。


不可否认,国产光刻机的整体水平与ASML的设备相比还有着很大的差距,但正所谓“不积跬步无以至千里”,如今国内光刻市场已填补空白,迈出了关键性的一步,后续的技术设备强化,只是不太久的时间问题。




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