优艾智合：机器人助力“芯片”制造

优艾智合的移动机器人。（受访企业供图）

去年春节大热的电影《流浪地球2》中运用的移动机器人都为优艾智合的实际产品。 （受访企业供图）

走进优艾智合，几个“身手敏捷”的智能机器人正搬运着晶圆片，并将其运送至下一个生产环节中。据优艾智合相关负责人介绍，复合移动机器人能够保障晶圆稳定持续地在产线间流转，实现生产7×24小时无人化。

晶圆是一种薄而光滑的半导体材料，是芯片的基石和母体，易碎的属性非常考验生产环境和加工工艺。为保障生产良率，精准完成晶圆在产线间和仓库间运转，复合移动机器人是全球许多半导体工厂的重要“利器”。据了解，优艾智合移动机器人搭载智慧物流管理系统（YOUI TMS），打通存储、运输、上下料环节的物质流和数据流，与OHT互为补充，共同打造半导体Fully Auto智能工厂，正成为全球半导体大厂的主流趋势。

优艾智合相关负责人告诉记者，企业将携这一创新成果亮相3月20日举行的2024上海国际半导体展览会。据悉，Fully Auto是半导体制造的愿景，意味着整厂所有设备、料架都需要由机器人管控，一个车间满配的机器人数量往往在百台级别，并有多种形态的机器人并存，这有助于更加高效的生产力实现芯片智能制造。

据介绍，优艾智合的智能物流管理系统YOUI TMS可以实时与RTD、EAP、MCS的数据交互，并结合物理空间布局，智能拆单、并单，以综合效率最优的方案一次性执行并发的多个任务。目前，优艾智合AMR拥有1000+共场作业的调度能力，满足多机型协同、跨楼层转运的整场集群调度，确保物料流转更加稳定、柔性、高效。

优艾智合方面表示，将长期深耕半导体行业，业务覆盖第一、二、三代半导体制造的衬底、外延、FAB、掩模、封测等细分领域的全生产环节，助力半导体Fully Auto。

深圳商报·读创客户端首席记者 陈小慧编辑 吴怡漪 责编 朱峰 校审 汪蓓
监制 陈志文

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