英特尔的制造困境：从10nm谈起

来源：内容编译自「eetimes」，谢谢。

如果一家企业是全球最大的半导体厂家，那么为了维护其自身在业界的地位、时刻领先于竞争对手，这家企业就要设定具有前瞻性的公司目标。英特尔把10纳米工艺技术设定为公司的前瞻目标，但是，由于10纳米节点技术的大幅度延迟，迫使英特尔不得不更改公司的技术蓝图（Road Map）。

英特尔甚至一度陷入了不得不讨论采用其他战略的困境，如今，英特尔虽然还在为10纳米工艺而进行研发，由于TSMC、三星电子在致力于7纳米、6纳米、5纳米以及更高级别工艺，那么，英特尔现时间点到底处于什么位置呢？

陷入困境的英特尔

要研发一项新的工艺技术，企业需要对性能、电力、面积（PPA：Performance, Power, and Area）设定一定的目标。在英特尔的处理器、微架构（Microarchitecture）的“Tick-Tock模式（即嘀嗒模式，工艺年-构架年）”下，PPA所有内容都得以进步和发展。英特尔的目标是把10纳米（也被称为“Intel 1274”）晶体管的密度提高至14纳米的2.7倍，性能提高25%。

从近期公布的10纳米的特征来看，与TSMC第一代的7纳米工艺（N7）极其相似，英特尔曾计划在2016年（比TSMC的N7量产时间早两年左右）开始10纳米工艺。如果按照计划进行下去的话，英特尔在HPC（High Performance Computing）方面会远远超过竞争对手。

英特尔与TSMC的工艺比较。（图片出自：eetimes）

英特尔把“提高晶体管的密度”称为“Hyper Scaling（超级微缩）”，后来，由于良率低于预想、成本高于14纳米，导致英特尔不得不重新审视目标。另一方面，就10纳米工艺而言，为了维持“摩尔定律”、维持晶圆的较小尺寸（Die Size）、削减成本，相对其他工艺而言，10纳米工艺需要更多的微缩技术。

每个晶体管的成本。（图片出自：eetimes）

在英特尔的10纳米工艺中，使用了FinFET晶体管、13层的金属堆（Metal Stack）。作为一项促进“Hyper Scaling（超级微缩）”实现的主流技术，首先，需要COAG（Contact Over Active Gate）。由于最初的2层采用了Co（钴，Cobalt）Inter Connect（钴互连）技术，因此与W（钨，Tungsten）相比，单位面积的电阻削减了50%，此外，为了缩小以上这些互连（Inter Connect），电子迁移从5/1削减到了10/1。

此外，在前道工艺（FEOL ，Front End of Line）中要制成Fin，有SAQP（Self-Aligned Quadruple Patterning，自对准四重图案）、SADP（Self-Aligned Double Patterning，自对准双重图案）方法，后道工艺（BEOL, Back End of Line）也可用为制成特殊金属层的SAQP方法。此外，还有Single Dummy Gate等技术，最为流行的方法还是以上列举的。

由于现有的所有尖端工艺技术都依赖于多图案（Multi-patterning），因此要实现英特尔10纳米工艺的特定功能，就需要使用4x，5x，6x图案（Patterning）。

然而，为了获得某一项功能，需要对晶圆进行六次曝光，这才是最复杂的。就多图案（Multi-patterning）而言，生产周期长，而且缺陷较多，因此，产品良率低、成本高、收益低。可以说，为了获得“Hyper Scaling（超级微缩）”，在不使用EUV（极紫外光刻）的情况下，过多地使用多图案（Multi-patterning）是一种非常冒险的选择。

此外，英特尔是唯一一家为7纳米、10纳米的BEOL而采用SAQP的半导体厂家，因此有观点认为“是SAQP导致了产品的缺陷密度高”。

就在10纳米（以及更高代际）工艺中采用Co、Ru（Ruthenium，钌）而言，可以列举出很多理由，然而在英特尔当初致力于研发10纳米的时候，Co还是较新的材料，因此也有观点表示“产品缺陷密度高的原因在于Co”。后一种观点明显不是“嫁祸于人”，因为要采用Co，需要使用新的检查工具（采用了电子束）。

与现行的光学检查工具相比，单束（Single Beam）检查工具速度慢（Multi电子光束工具还处于研发阶段，速度也很慢）。但是，就光学检查工具而言，新的（或者研发中的）工艺的清晰度不够。因此，目前电子光束工具仅可用于工艺质量确认、校正（Calibration）等用途。

英特尔冒着风险、先于业界其他厂家采用新技术并不稀奇。但是，就10纳米的研发而言，已经远远超过了“改革”的框架，风险极高。

美国的市场调查公司Insight 64的调查员Nathan Brookwood表示：“据业内相关人员透露，回顾一下历史，再看看整个英特尔，无疑不让人觉得英特尔的确充斥着过激的攻击行为”。

延迟的10纳米的启动

英特尔最早公布10纳米工艺是在2015年7月。当时，英特尔指出此项工艺存在Multi-patterning缺陷密度高、良率低的问题。而且，10纳米（品名：Cannon Lake）的量产时间是在2017年的下半年，相对原计划晚了一年左右。

2018年年初，英特尔表示：“Cannon Lake已经开始小规模量产，2018年下半年计划开始量产”。但是，2018年4月，英特尔又公布说：“由于良率较低，10纳米工艺CPU的量产推迟到2019年”。后来，2019年量产了第二代10纳米工艺（注意，不要与10纳米+工艺混淆），与首代10纳米工艺技术相比，很多方面都有明显的优势。

英特尔本身应该在2015年（首次正式公布10纳米的时间）甚至之前就已经了解10纳米工艺的优缺点。在充分了解了风险的基础上，英特尔认识到必须要在未来数年内大批量生产与成本、性能、市场投入时间相匹配的CPU。

于是，在2016年年初，英特尔新发布了新的基本理念，目的是为了导入新工艺技术、微架构（Microarchitecture）。也就是说，延续了十年的“Tick-Tock模式（即嘀嗒模式，工艺年-构架年）”寿终正寝，新的“PAO（Process-Architecture-Optimization，制程-架构-优化）”开始上场。即，通过长期优化微架构（Microarchitecture），反复改善工艺技术、产品设计。

Brookwood指出，可以说，“Tick-Tock模式”是降低风险的战略之一，运用现有的微架构（Microarchitecture）、对新的工艺进行试错（Debug），然后在验证后的工艺中导入新的微架构，由此可以达到年度一次的性能改善。

某位英特尔的前员工曾明确表示，从市场的观点来看，“Tick-Tock”本身就是为了获得较高评价而诞生的一种模式，管理层进行审视这种模式的时候，也定期、有规律地推动了此种模式的实现。因此，毫无疑问，大家都朝着目标努力，而且，大家都忘记了这个模式到底有多难。

Brookwood表示，十年来“Tick-Tock”充分发挥了其作用。但是，在14纳米中稍微“跌了个跟头”，导致量产时间延迟一年，而且在10纳米工艺中彻底“崩塌”！另一方面，TSMC却保持两年更新一次的步调，虽然TSMC的性能提高速度不太快，但性能预测的准确度却极高。谁也没有想到的是：在英特尔还在14纳米“徘徊”的时候，AMD几乎已经将所有系列的产品委托给TSMC的7纳米工艺生产。

“14纳米+”是英特尔14纳米工艺的优化版。与采用了14纳米工艺的“Skylake”相比，采用了“14纳米+”工艺的“Kaby Lake”的功耗仅提高了15%，基本没有大的改善。

此外，进一步优化的版本--“14纳米++”的栅极距(Gate Pitch)为84纳米（与14纳米工艺下的70纳米相比，有所改善），且驱动电流提高了24%，因此功耗降低了约50%。英特尔的“14纳米++”主要应用于名为“Coffee Lake”、“Comet Lake”的处理器（主要用于高端的台式游戏机PC、高端PC等产品）。由于英特尔未来还会继续致力于处理器的研发，因此不仅是10nm＋&10nm＋＋、应该还会出现7nm&7nm＋&7nm＋＋。

晶体管的性能、耗能。（图片出自：eetimes）

另一方面，英特尔的CEO似乎也在考虑“将主要技术的研发基准时间从两年延长到两年半”。但是，这到底能为英特尔带来什么结果呢？不经过时间考验、无从得知。

英特尔的企业信息管理部的负责人曾表示说，我们的目标是每年更新一代技术，以支持公司的产品蓝图（Road Map）。因此，通过同时进行工艺节点（Process Node）微缩化和提高节间（Internode），来达到提高PPA的效果。

英特尔必须做出改变的地方不仅仅是生产工艺的研发方法。

在很早之前，由于产品设计、生产技术处于调整中，因此当英特尔在进行某种产品设计的时候，必须要使用专用的工艺。但是，如今已经将产品与工艺技术的研发分开，因此可以将最可行的技术应用于未来计划发布的CPU和GPU的研发中。

这种模式与Fabless Chip Maker（芯片设计商）&Foundry之间的关系比较类似。GLOBALFOUNDRIES的前CTO（Chief Technology Officer，首席技术官）--Gary Patton（也曾担任IBM Microelectronics事业部的负责人）于2019年入职英特尔，且英特尔筹备了将设计应用于特定的工艺节点（Process Node）中所需要的要素。据说Patton担任Process Design Kit（PDK）、IP（Intellectual Property）、工具（Tool）等方向的研发管理工作。

英特尔最厉害的地方不是10纳米工艺

英特尔未来还会继续致力于提高工艺技术水平。作为10纳米工艺的两个优化版本，计划在2020年推出10纳米+，2021年推出10纳米++。

英特尔的前高级研究员（Senior Fellow）、工艺架构（Process Architecture）&统筹（Integration）部门的总监--Mark Bohr先生在2017年表示，英特尔的10纳米+晶体管的性能优于10纳米，但是频率低于14纳米++，因此，对于桌面游戏机PC的CPU而言，这不是一款有魅力的产品。考虑到10纳米存在着缺陷密度高的问题，同样，频率问题也是10纳米+最应该优先解决的问题之一。

英特尔计划在2020年下半年量产晶体管性能大幅度提高的10纳米++。届时，对于具有较高“时钟频率（Clock Rate）”优势的应用（Application）而言，10纳米++将会是不错的选择。另一方面，英特尔自身也承认10纳米工艺产品的利润不及22纳米、14纳米。

2020年年初，英特尔的CFO（最高财务总监）-- George Davis表示，“10纳米应该不是英特尔最厉害的技术节点。与14纳米、22纳米相比，10纳米的良率较低，但我们正致力于解决这一问题。此外，我们计划在2021年年末开启7纳米时代，且7纳米的性能将会远超10纳米”。

梦幻般的“Cannon Lake”

英特尔的Cannon Lake处理器原计划在2016年下半年投入市场，后来延迟到2017年下半年，2018年又限量出货。我们所了解的唯一的Cannon Lake—“Core i5-8121U（没有内置GPU）”并没有投放到大众市场，且在2020年年初“静悄悄”地结束了生产。有观点认为：“在2017年下半年到2018年上半年期间，英特尔的10纳米一直波折不断，因此英特尔不得不对10纳米工艺进行大幅度地改造和重新设计。其证据是出货产品仅有一款SKU（Stock Keeping Unit）”。

英特尔的10纳米量产品—“Ice Lake”在2019年年中发售，如今在售的有11款、半定制（Semi-custom）SKU。Ice Lake的工作频率和TDP（Thermal Design Power）范围较广（9W～28W），这也证明了英特尔可以成功地生产在性能、功耗方面极具优势的10纳米芯片。为获得较高的性能、较高的良率，英特尔必须要使用10纳米工艺技术的改良版。

采用了10纳米的“Ice Lake”。（图片出自：eetimes）

与搭载了Cannon Lake的系统不同，搭载了Ice Lake的PC几乎被所有的厂家投放到了市场，因此，英特尔在2019年-2020年期间，改善了10纳米芯片的供给情况。

另一方面，英特尔将采用了14纳米的处理器技术--“Comet Lake”应用于主流的笔记本电脑、高性能的笔记本电脑、台式游戏机电脑。将14纳米++处理器应用于游戏机设备，这并不令人感到意外（希望读者注意的是为适应较高的时钟频率，英特尔优化了此项技术），从将Comet Lake应用于主流的笔记本电脑上和搭载了Ice Lake的笔记本电脑供应不足这两点，可以看出在2019年下半年、2020年上半年，英特尔的10纳米处理器的供应量可能不太充分。

10纳米+--“Tiger Lake”的发布

继Ice Lake之后，英特尔又在“CES2020（美国拉斯维加斯）”上公布了“Tiger Lake”处理器，同时，英特尔还表示，会在下一个长假（Holiday Season）之前，向市场投放50多种搭载了“Tiger Lake”的电脑。

英特尔的10纳米产品正在一步步缓慢增多，除了CPU，还有以10纳米为基础的FPGA “Agilex”、5G方向的SoC“Atom P5900系列”等。Atom P5900已经获得三家通信设备厂家的设计方案（Design-win）。

但是，并非一切都是那么乐观。英特尔已经将采用了10纳米+的“Xeon（研发代码：Ice Lake）”处理器的出货时间从2020年上半年推迟至同年的下半年。这应该也会对英特尔的服务器方向的业务造成影响。虽然我们无从推测延迟的理由，但是不难想象如果缺陷密度较高的话，相对小型芯片，对大型芯片的影响较大。主流的笔记本电脑虽然可以“容许”10纳米+的缺陷密度、良率问题，但还达不到高端服务器的要求水准。

要理解英特尔10纳米芯片的生产量，需要理解英特尔能够处理多少数量的10纳米晶圆、有多少处工厂可以处理10纳米晶圆。最近，英特尔不太公布其产能相关的信息。但是，也并不是只字不提。英特尔曾公布说，美国的亚利桑那州、俄勒冈州和以色列工厂可以生产10纳米芯片。

英特尔在10纳米和Hyper Scaling（超级微缩）上下了一个大的赌注，10纳米产品量产的推迟、Ice Lake中的10纳米技术的调整，而且为了满足2018年-2019年期间处理器的需求，英特尔又花费了数十亿美元对14纳米进行扩产。

如今，很难说英特尔的10纳米战略获得了成果。此外，英特尔认为，在2020年之内，10纳米产品的出货数量很难超过14纳米。在2020年年初，其自身也承认10纳米的利润不如之前的其他工艺。

话虽如此，英特尔毕竟是拥有大批客户的巨头厂家，很难想象跳过10纳米而直接进入下一代节点技术，未来应该还会出现很多采用了10nm、10nm＋、10nm＋＋的产品。当然，我们也十分期待英特尔的采用了EUV光刻的7纳米技术。

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