【注册观看】原子力轮廓仪的原理及其应用

直播信息

报告题目

原子力轮廓仪的原理及其应用

报告人

陈灏（Park原子力显微镜公司高级工程师）

报告时间

2022年4月28日（周四）10:00

主办方

Park原子力显微镜公司

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报告人介绍

陈灏，在Park公司主要从事原子力显微镜在半导体领域的相关应用和开发工作，对缺陷成像和分析，表面粗糙度测量，缺陷检测，CMP测量（包括凹陷、侵蚀和边缘过度侵蚀（EOE）的局部和全局的平坦度测量）等领域具有丰富的经验。

报告摘要

Atomic Force Profiler模式可以获取长距离样品表面高度的纳米尺度变化

Park低杂讯原子力显微镜与长距离滑动平台（Long range sliding stage）技术相结合，创造出原子等级的长距离表面轮廓分析仪器（Atomic Force Profiler, AFP）. 最佳轮廓的精度和重复性，使其成为半导体产业先进制造中不可或缺的分析仪器。
Park独家的非接触式扫描（True Non-Contact Mode）,让原子力显微镜可以进行线上（In-line）非破坏式高解析扫描，不仅大幅延长了探针的使用寿命，也保护了样品表面不受探针的损伤。而利用2D profile 模式，用户能够获取比传统AFM更大范围的表面轮廓（可达50mm x 50mm）,并能达到原子等级的高度信息。
本次讲座介绍了AFM以及非接触式扫描的基本原理，比较不同表面轮廓分析仪器的差异，再进一步讲解Atomic Force Profiler 模式在不同类型样品的量测及分析方法，以及Atomic Force Profiler大范围扫描在产业界的研究及应用的优势与发展。

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编辑：黄琦

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