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【直播】【QD中国】无掩膜光刻技术在生物和医学领域的应用进展
报告题目:
无掩膜光刻技术在生物和医学领域的应用进展
报告时间:
2022年12月21日 14:00
报告嘉宾:
喻博闻 博士 Quantum Design中国子公司
主办单位:
QD中国
直播通道
蔻享学术直播间 |
报告人介绍
报告简介
无掩膜光刻技术因摆脱了掩膜板的束缚,可以高效快速地开发各类生物学和医学器,正逐渐成为各类研发机构主要的光刻设备。与传统掩膜版技术相比,无掩膜曝光技术具有高分辨、高对准精度、简易操作等诸多优势,能够轻松实现微米、亚微米级精度的光刻、套刻。配合各类标准微加工工艺,能够方便快捷地实现各类生物芯片器件的制备。在本报告中,将重点介绍无掩膜光刻技术前沿进展,结合来自国内外科研单位在国际期刊发表的研究成果,探讨无掩膜光刻技术在生物和医学领域的应用。推荐阅读
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编辑:王亚琨
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