鑫华半导体年产5000吨大尺寸集成电路用高纯硅料及年产1500吨电子特气项目公示

■ 信息来源 | 徐州市自然资源和规划局（本文由“SAGSI硅基新材料”整理后发布，转载请注明出处）

5月14日，徐州市规划局对江苏鑫华半导体科技股份有限公司年产5000吨大尺寸集成电路用高纯硅料及年产1500吨电子特气项目规划方案进行了公示。

建设单位：江苏鑫华半导体科技股份有限公司

项目地址：徐州经济技术开发区杨山路66号

用地性质：工业用地

用地面积：29853.05平方米

总建筑面积：6990.23平方米（本次新建504.00平方米）

容积率：0.89

建筑密度：32.24%

绿地率：15.36%

总平面图：见原公告http://zrzy.jiangsu.gov.cn/gtapp/nrglIndex.action?type=2&messageID=2c9082b58f519c6f018f75a4f3361e05

江苏鑫华半导体材料科技有限公司于2015月12月由国家集成电路产业投资基金（大基金）联手协鑫集团控股的江苏中能硅业科技发展有限公司投资20亿元建立。其主要业务为半导体产业用电子级多晶硅研发、生产和销售，也是目前国内唯一一家实现电子级多晶硅量产且全尺寸覆盖的企业，肩负着推动国内半导体产业用电子级多晶硅研发、生产的重要使命。2017年9月，鑫华半导体实现国内首条5000吨/年电子多晶硅生产线建成投产，一举解决了痕量杂质提纯、高等级洁净控制等技术难题；2017年11月8日，鑫华半导体正式发布电子级多晶硅产品，填补国家集成电路产业专项一项空白；2020年，鑫华半导体荣获工信部下属的赛迪咨询颁发的“IC独角兽企业”称号；2022年4月，鑫华半导体年产5000吨大尺寸集成电路用高纯硅料及年产1500吨电子特气等16个重大项目启动……作为国内领先的电子级多晶硅制造企业，鑫华半导体依托自身在硅材料方面的综合优势，不断攻克技术难关，突破技术重围，完成超过600项核心技术和设备的改进与创新，形成了具有完全自主知识产权的电子级多晶硅生产工艺。目前，鑫华半导体拥有国内规模最大的电子级多晶硅生产线，技术水平与产品质量跻身行业前列，实现各种尺寸晶圆全覆盖应用，持续为国内外客户提供多种规格的优质高纯电子级多晶硅产品。2018年以来，鑫华半导体电子级多晶硅产品已经在国内市场形成批量销售，并且逐渐提供小批量产品向海外销售。目前鑫华半导体在国内有40~50%的市占率，在全球范围内，向欧洲、韩国、日本出口产品。鑫华半导体的总经理田新在一次采访中表示，集成电路经过这些年的发展，对于线宽的要求越来越窄，在先进的技术加持下，台积电已经发展到5纳米，3纳米也已经完成了技术的攻克，甚至未来可能往1纳米的目标进发。1纳米的概念大概就是20个左右硅原子的距离。在这个量级下，任何杂质都会显现出来，进而影响到集成电路的性能。为了达到这个要求，对集成电路原材料——硅，就有一些极致的要求。从本质上看，我们就是要一块完全没有杂质的硅，这样才是一张好的白纸，才能在后续的硅片制造或者集成电路制造的时候，在这张“白纸”上做更好的设计，绘制出更好的图画，同时，也保证它质量的稳定和可控。目前，产业内对硅的材料纯度要求要到12个9，即99.9999999999%。这是一个非常极致的要求，要求我们的产研能力在各个方面要达到极致，包括技术、材料、设备、管理等，这就是为什么我们国家在过去的六七十年里步履维艰，这种机制在当时的中国工业基础很难实行。而现在我们整体的工业已经到达这个维度，大家再加把劲实现突破并不是十分困难。

本次新建项目中涉及的硅基电子特气项目是半导体生产过程中的一种物料，存在于现有的生产体系中，是鑫华半导体未来5到10年规划中的多元丰富的服务之一，即围绕高纯的电子化学品开展一体化、多元化布局，以这样的体系和路线支撑我们国内集成电路产业的发展。

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