不懂就问 || 双束电镜22个核心问题一点通，建议收藏~

双束电镜免费公开课课后解答

终于来啦！

公开课上的内容都会了没

不会也没关系

往下看

老师带着答案走来了

提问！

回答！

 1  双束汇聚位置工作距离是多少？

答：不同型号的电镜重合点的位置是不一样的，有5mm，6mm，具体根据型号来定。

 2  怎么确定样品中非晶是由于加工导致的？

答：FIB加工造成的非晶层厚度会随着电压变化而变化，加速电压越大，非晶层越厚，要想判断非晶层的厚度，需要在TEM里面进行观察。

 3  通道衬度指的是Z衬度么？

答：不是，Z衬度指的是成分衬度，即原子序数衬度，原子序数越高，SE或者BSE产额就会越高，相反越低，而通道衬度也就是我们经常说的取向衬度，是因为样品中晶粒的取向不同造成的产额差异。

 4  离子束和电子束有作用有什么不同？离子束和电子束哪个是用来刻蚀的？

答：离子束用于刻蚀加工，电子束用于成像，它对样品不会起到溅射的作用。

 5  如何控制刻蚀深度呢？

答：通过控制加工时间，不同材料溅射率不一样，相同的离子束，相同的加工时间，刻蚀的深度也会不同。

 6  材料有多种组分构成，如何保证刻蚀深度一致？

答：采用不同的刻蚀时间，图像上实时监测刻蚀深度，当刻蚀深度一致的时候就可以停止；或者采用一些比较特殊的辅助气体。

 7  FIB切Al的话，用什么气体能够加速切割？

答：Cl2或者I2可以加速Al的切割。

 8  老师，这个灰度图加工具体是怎么实现的？

答：FIB软件中导入灰度图，设置深度，该深度对应的是灰度最高的位置的深度，其他位置的深度软件自动根据灰度计算获得。

 9  刻蚀的话对样品有什么要求呢？

答：FIB加工是需要在高真空的，所以含水的样品是需要做提前处理的，一般只要能在电镜中高真空观察的样品都可以利用FIB加工，但是离子束加工的时候会有热量产生，所以高分子一类的样品如果采用常规的FIB加工会有损伤，此时就可以用配有冷台的FIB进行加工了，避免热量造成的损伤。

 10  双束电镜的分辨率是多少？

答：目前Ga离子FIB最好的分辨率是2.5nm@30kV。

 11  eds不是有非归一化定量吗？

答：有，但是需要用特定的试样先进行定量优化操作。

 12  Ga或Xe源跟o或cs源有什么不同？

答：O和Cs源主要是大型质谱使用的，提高正离子或者负离子产额，Ga和Xe只能起到溅射作用。

 13  请问各元素的相对量可以得出吗？

答：不能。

 14  氮化碳样品，N，C元素用EDS定量分析吗？

答：可以。

 15  那氮化碳样品用什么测试手段测试N,C含量？

答：能谱或者电子探针。

 16  如何减小TEM样品制备时的窗帘效应？

答：沉积Pt保护层，小束流切割，摇摆切割。

 17  想要衬度明暗相更明显，束流该调大还是调小？

答：束流越大，衬度越明显，但是束斑也会增大，分辨率会下降。

 18  离子束温度高的话，与样品作用的温度大概多少。请问离子束与样品作用温度会有多高呢？

答：升温正比于电压和束流，反比于导热系数和束斑，导热系数不一样，相差较大。

 19  三维EBSD数据用什么软件处理的？

答：有很多开源软件，例如Dream 3D。

 20  电压和电流哪个对非晶层的产生影响比较大？

答：电压影响更大。

 21  ga或xe的加工精度是多少？

答：加工的材料不同，能达到的加工极限是不一样的。

 22  Ga注入对Al的污染对TEM观察影响多大？

答：Ga会与Al反应形成金属间化合物，影响材料的性能。

---

动动小手加星标，浏览文章不迷路！不用每天花费时间刷信息流也可以随时看到自己喜欢的内容啦！

往期推荐
万事屋告示牌


关注我们

点了“在看”的小哥哥小姐姐

今年发IF>10一作