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半导体作为一个高科技产业,往往被误解为“清洁”产业,但事实上,半导体生产过程中使用了大量的有机和无机物质,包括许多有毒有害物质,这些物质对环境具有一定的影响。半导体生产可以分为晶体材料生产、晶片制造和器件组装三个阶段,其中污染最为严重的主要是晶片制造阶段,有机废气的产生便来源于这一阶段的光刻、显影、刻蚀及扩散等工艺。半导体生产制造过程中产生的VOCs污染物成分复杂,主要有各类烷烃、烯炔烃类、芳族化合物以及酮、醚类等,具有风量大和浓度低的特点。我国已成为半导体产业大户,且各地制定了相应的排放标准。可迪尔在VOCs领域有着丰富的治理经验,在半导体有机废气治理行业有所建树,做过不少成功案例。多年来,可迪尔坚持用专业的技术为业主设计合适的治理工艺,全面解决生产中所面临的污染超标问题,保障正常生产。今天,小编带大家一起去看看有关半导体行业有机废气治理的部分项目案例。部分案例欣赏广东珠海某电路板制造行业VOCs治理处理成分:苯系物、酯类、丙烯酸等处理风量:56900m³/h处理工艺:活性炭+CO广东珠海某电路板制造行业VOCs治理处理成分:苯系物、酮类、醚类处理风量:177300m³/h处理工艺:沸石转轮+CO江苏无锡某电子行业VOCs治理处理成分:PGME、EEP、PGMEA等处理风量:160000m³/h处理工艺:沸石转轮北京某电子行业VOCs治理处理成分:PGME、PGMEA、IPA、丙酮等处理风量:50000m³/h处理工艺:沸石转轮+TO广州某电子行业VOCs治理处理成分:丙二醇甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯、乙醇、乙二醇丁醚类等处理风量:220000m³/h处理工艺:沸石转轮+TO广东江门某电子行业VOCs治理处理成分:二丙二醇甲醚、乙二醇单丁醚、乙二醇甲醚、二丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇丁醚等处理风量:24000m³/h处理工艺:沸石转轮北京某电子行业VOCs治理处理成分:PGME、PGMEA等处理风量:45000m³/h处理工艺:沸石转轮+RTO/沸石转轮+TO江西南昌某电子行业VOCs治理处理成分:乙醇、丙酮、PMA、异丙醇等处理风量:348000m³/h处理工艺:沸石转轮+TO广东深圳某电子行业VOCs治理处理成分:二甲苯、乙醇、异丙醇、乙酸乙酯等处理风量:30000m³/h处理工艺:沸石转轮+TO江苏苏州某电子行业VOCs治理处理成分:PGMEA、PGME、MEK处理风量:84000m³/h处理工艺:沸石转轮安徽合肥某电子行业VOCs治理处理成分:酯类和醚类等非甲烷总烃处理风量:20000m³/h*2处理工艺:沸石转轮+TO江西南昌某电子行业VOCs治理处理成分:异丙醇、丙酮等非甲烷总烃处理风量:45000m³/h处理工艺:沸石转轮+TO广东深圳某电子行业VOCs治理处理成分:PGMEA、PGME、MEK处理风量:84000m³/h处理工艺:沸石转轮+TO广东深圳某电子行业VOCs治理处理成分:甲苯、二甲苯、乙酸正丁酯等其他非甲烷总烃处理风量:75,000m³/h处理工艺:沸石转轮+CO广东深圳某电子行业VOCs治理处理成分:PGME、EEP、PGMEA、醋酸丁酯、环己酮、NMP、丙酮等其他非甲烷总烃处理风量:345000m³/h处理工艺:沸石转轮+TO部分案例