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“十三五”国家重点图书出版规划项目变革性光科技与技术丛书随着硅基光电子技术的快速发展,很多国家都在加大研发投入,美国、欧洲、日本等已经开始做相关的深入研究。美国在传统微电子研究和制作方面的技术已经成熟,在微电子技术刚刚出现时就得到了快速的发展并占领了主导位置。美国利用已有的技术优势对硅基光电子集成技术进行进一步的深入研究。迄今为止,该项技术的发展已经成功带动了美国经济的发展。在军事应用(包括智能武器、雷达、通信和电子战等方面)的推动下,光电集成技术的发展十分迅速。IBM公司首先提出了将该技术应用到多功能光学系统在微型芯片上的集成过程中。光学相控阵雷达示意图IBM公司对未来的硅基光电子集成芯片提出设想的结构。如图1.2.1所示,首先可以将光源、光电探测器、光调制器等光电元器件集成在硅基材料上。另外还可以利用硅基光电子技术将硅基生物探测芯片、硅基太阳能芯片这样的特殊功能单元集成到一起,实现光电子信号处理芯片的多功能。图1.2.1IBM公司硅基光电子集成芯片的结构构想。IBM公司硅基光电子集成芯片的结构构想2016年,美国波士顿大学科学家首次开发出能在可见光波段内操作的纳米无线光学通信系统,更短波长的可见光将大大缩小计算机芯片的尺寸。新系统的核心技术是一种纳米天线,能让光子成群移动并高精度控制光子与表面等离子体间的相互转换。新系统中纳米等离子天线之间能通过光子相互通信,两个天线间的信息传输能耗降低了50%,大大提高了无线通信效率,这对建筑节能也是一大利好。研究人员已经证明新纳米系统在性能上完全超越硅基光学波导技术。硅基光学波导内的光散射会降低数据传输速度,而纳米天线内不仅光子能保持光速传播,表面等离子体也能以接近90%~95%的光速传播。光子天线示意图日本始终对光电子技术的研究和发展都比较重视,其硅基光电子器件领域的研究在亚洲一直处于领先地位。目前,主要研究机构有东京大学微光子实验室、名古屋大学实验室、NEC公司等,日本也已成功地研制了用于光纤通信的80×80阵列的微型光开关、微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,MEMS)可调谐激光器、硅基光子调制器以及用于传感的微机电系统的光学干涉传感芯片。光电二极管的横截面欧洲在硅基光电子集成方面的研究起步比美国晚一些。欧洲各国政府也对该项技术非常重视,因此在20世纪90年代末微纳光子器件的研究就得到了快速的发展。其研究机构也很多,主要有欧洲微电子研究中心(IMEC)、剑桥大学光子系统中心、帝国理工学院的光学和半导体器件研究组等,目前,已经成功研制出了基于光子晶体的紧凑型光开关、光调制器以及用于传感的硅基纳米光子化学传感器等重要微纳光器件。2010年,Y.Yashchyshyn、J.Modelski等人研制了发射光子天线。不同电压下光电子对激光二极管模块的增益中国在硅基光电子芯片方面已开展了前期研究,中科院、清华大学、北京大学、复旦大学、湖南大学、北京邮电大学、武汉邮电科学研究院等承担了许多国家自然科学基金重点项目、国家“973”项目、自主前沿项目等,在理论仿真试验方面为进一步研制芯片打好了可靠的理论基础。中科院微电子有限公司对低噪声放大器、压控振荡器、混频器等多个微电子器件进行了仿真设计。清华大学设计了一款基于IBM90nm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺的功率放大器并发表了相关的文章,其中,功率附加效率约为24.3%,饱和输出功率可以达到18.3dBm。北京邮电大学国家重点实验室首次在硅衬底上生长出了纯闪锌矿结构的近乎完美的GaAs纳米线,为研制相关器件提供了可能。现阶段国内的研究机构只针对单独的模块进行研究,而国外已经开展了对整体集成电路的相关工作,在这方面中国已经远远落后。此外,在科研上的人力和物力投入也有很大差距。所以我国必须要增强在硅基光电集成方面的自主研发和创新能力,以防在竞争中处于不利地位。点击我购买