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当一束连续波长的红外光照射物质时，物质会吸收一部分光能来实现自己转动或振动能级的跃迁，不同的基团，跃迁需要的能量不同，所以被吸收的波段通过一定的手段记录下来后，就能实现官能团与波长的一一对应关系。

利用高速电子束加热使材料汽化蒸发，在基片表面凝结成膜的技术。电子束热源的能量密度可达104-109w/cm2，可达到3000℃以上，可蒸发高熔点的金属或介电材料如钨、钼、锗、SiO2、AL2O3等。

，也称为应力波发射。各种材料声发射的频率范围很宽，从声频、声频到超声频。应力波在材料中传播，可以使用压电材料制作的换能器将其接收，并转换为电信号进行处理。

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测试前需要对样品进行必要的前处理，比如通过高温干化法、低温灰化、湿法消解、微波消解等方法破坏掉样品中含有的有机物；(2)难熔元素如B、Si、Ti、W、Zr、Nb、Ta、稀土元素等易形成难解离氧化物,