中科创星投资半导体自动物料搬运系统供应商「成川科技」
The following article is from 36氪浙江 Author 王艺霏
在半导体行业中,半导体AMHS系统主要负责物料在生产线的自动搬运,是由软件和硬件组成的一个复杂系统,软件包括物料控制系统(MCS)和设备层控制系统,硬件包括天车(OHT)、移动机器人(AMR)、传送线(Conveyor)等搬运设备和洁净立库(Clean Stocker)、空中缓存位(OHB)、工作站(Station)等存储设备以及楼层间的传送存储设备(Tower Stocker)等。其中,天车系统是AMHS的核心,具有搬运量大、搬运效率高和生产线空间适配利用率高等优势。
随着半导体工艺的复杂度的提升,物料的搬运量也在不断提升,天车系统和设备作为整厂AMHS解决方案,已经成为12寸晶圆厂的标配。但因技术难度高,过去多年来,市场一直被日本大福和村田公司垄断。
图源:成川科技官网
图源:成川科技官网
技术要求上,半导体生产对设备和系统的容错率极低,因为一旦AMHS系统出现异常造成生产线停产,就有可能带来相当惊人的损失。也因此,客户对AMHS供应商的选择非常谨慎,对团队技术能力要求极高。
成川创始团队曾是在知名国际半导体公司构筑AMHS经验超过15年的成建制团队,后期加入成员由来自自动化领域资深的研发工程师以及来自晶圆厂AMHS部门和行业专家组成,团队结构完整,AMHS系统研发和运维经验丰富。
本次融资完成后,「成川科技」将继续扩充团队,加大核心技术和核心产品的研发力度,优化供应链,加强与国内头部客户的需求互动,力争成为半导体AMHS整体解决方案领军企业,实现AMHS系统的自主可控。
「成川科技」董事长兼总经理顾晓勇表示:“半导体是一个需要积累和耐心的行业,我们坚信长期主义,专业主义,我们坚持以产品的确定性突破市场的不确定性。”
中科创星董事总经理卢小保表示:“对于晶圆制造厂来说,AMHS系统是必备核心装备,虽然其只占晶圆厂总设备投资的3%,一旦天车方案被禁止进口,国内的晶圆制造厂将面临核心竞争力下降的风险。「成川科技」团队建制完整,且有半导体天车系统丰富的交付经验,已交付系统均能够达成客户期望并稳定运行,相对于其他的供应商优势非常明显。”
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