云路演｜三英精控：超精密运动专家，打造中国高端制造国际品牌

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如同车辆中的发动机，精密运动控制是高端装备和先进制造业的核心技术，是实现精细化加工、提高产品质量和生产效率的重要手段，目前广泛应用于半导体加工检测设备、LCD/LED及其它显示器制造设备，激光设备、生物医学显微镜和操作仪器、通讯业制造设备、各类精密机床、航空航天、以及国防军工业等领域。但国内精密运动控制技术发展较晚，为防“卡脖子”，打造我国自主的精密运动控制品牌成为高端装备产业发展的重中之重。                                                  

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项目信息

项目标签：超精密运动控制技术领导者

项目领域：先进制造

项目阶段：已实现产业化

项目需求：寻求融资及市场客户

创始人简介

须颖博士，国家高层次人才，三英精控（天津）仪器设备有限公司董事长。具有20多年在英国和美国从事微纳米成像技术和超精密运动控制新技术和新产品的研发经验，在多家欧美国家的高科技公司任职，是国际上最早从事纳米定位平台产品研发和设计人员之一，主导开发出几十种不同规格种类的纳米运动平台产品，其中许多产品技术指标居于世界领先。针对国内超精密运动控制和微纳检测技术的需求和发展现状，致力于微纳米检测设备和超精密运动控制的研发及产业化，为我国在该领域的快速发展起到了推动作用。

公司简介

三英精控（天津）仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为科学研究、创新研发及高端仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成，满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。

三英精控（天津）仪器设备有限公司在纳米运动控制技术方面具有先进的技术和经验，并具有该类技术的自主知识产权。公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体，综合技术指标已达到先进水平。公司产品涵盖大行程高精度运动平台、纳米和亚纳米运动控制平台、纳米位移电容传感器、精密运动控制集成系统等系列产品。

国家标准

在须颖博士的带领下，三英精控（天津）仪器设备有限公司主导编制了两个国家标准：

1、《纳米定位与扫描平台术语》（GB/T38616-2020）

本标准界定了纳米定位与扫描平台的术语定义，适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义；

2、《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》（GB/T38614-2020）

本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的测量条件、测量系统和测量方法，适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。

核心技术

超精密运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时,可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

核心产品（部分）

1、 纳米位移定位平台系列产品

纳米位移系统的应用越来越广泛，从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种高新技术行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米（nm）的位移，可应用于显微成像、激光加工、光学测量、/表面检测、半导体加工等领域。整个系统包含3部分：纳米位移台、控制器和控制软件。

（纳米位移定位平台系列产品一维、二维、三维系列）

-  纳米位移台：一种机械装置，内部有一个或多个压电陶瓷，由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。三英设计和制造的纳米位移台使用柔性铰链将技术将运动装置连接到固定基座上。纳米位移台内置精密传感器，闭环控制时，三英的传感器技术在保证线性度的前提下，可以实现纳米级别、亚纳米级别的分辨率。

-  控制器：为纳米位移台提供电源，在闭环控制时，纳米位移台内部的传感器为控制器提供位移数据。控制器周期性的处理位移数据并修正输出电压信号，从而使位移数据与指令数据相同。

-  简单易用的软件：纳米位移系统通常作为大型设备的一个部件，因而纳米位移系统与其他硬件良好配合是相当重要的。三英控制器对外通信方式有多种，常用的方式是通过BNC模拟信号（-10V~10V）控制纳米位移台的位移。还可以通过USB接口和数字IO实现与控制器的通信。三英控制器内部软件实现了基于PID算法、陷波滤波器的闭环控制，内部集成了正弦波、方波和三角波的波形发生器。

（纳米位移定位平台技术优势）

2、 纳米位移电容传感器系列产品

被测物体与传感器各自作为一个平板电极。通过给传感器一个持续稳定的交流信号，其电压的振幅变化与传感器到被测物体之间的距离成正比。交流信号经过解调，可以测出位移量。电容式位移传感器具有信噪比大，灵敏度高，频响宽，非线性小，精度稳定性好，无损耗等特点。

（纳米位移电容传感器系列产品）

纳米位移电容传感器可应用于精密制造、计量检测、变形监测、显微镜、材料测试等领域。

（纳米位移电容传感器技术优势）

应用案例

1、 光刻机镜头调整系统

光刻机曝光镜头，三英配套镜片传感器及调整系统。光刻机镜头调整系统是半导体芯片制造装备的核心技术之一。

2、 卫星激光通讯瞄准系统

卫星激光通讯，三英提供星对星、星对地之间激光通讯追踪、对准系统，是该技术的核心关键之一。

（左：星与地、右：星与星）

3、 晶圆加工设备

三英提供的纳米运动平台，广泛应用于半导体晶圆在光刻前、中、后制备的工艺设备中，是其关键核心器件之一。

4、 生物医学仪器

癌症诊断扫描仪及基因测序，三英提供微米/纳米扫描及操作平台产品。

5、 扫描电镜

高端真空扫描电镜，三英提供三维精密运动样品台。

6、原子力显微镜

大型显示面板在线检测设备的AFM系统，三英提供三维精密运动扫描系统。

商业模式

1、 OEM牵引直销

面对客户与需求，提供定制产品及系统解决方案；

2、 强化产学研合作

开拓科研院所市场，形成标准系列产品的销售规模；

3、 建立代理商网络

构建国内、外市场和不同应用领域的代理销售体系。

目前公司已有的重点客户：

科研系统：中科院的高能所、长春光机所、上海技物所、电工所、散裂中子源，及中国计量院、国家纳米中心、上海计量院、核九院、航天五院等；

大专院校：北大、清华、天大、哈工大、首师大、广工大等；

工业企业：华为、京东方、大疆创新、沈阳拓荆、聚束科技、上海微电子、哈尔滨新光光电、哈工大卫星激光通讯等。

发展规划

2020-2022年，扩大产业化规模、提升市场占有率及企业品牌，争取突破亿元销售额；

2023-2024年，完善销售渠道和研发基地，通过持续技术开发和产品推广，形成企业的核心竞争能力,达到IPO条件；

2025-2030年，稳健增长，拓宽、延伸产业方向，进入超精密智能机器人、精密设备（半导体）、精密检测仪器等领域。全力开拓国际市场，打造中国制造的国际知名品牌。

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