2020年半导体特种气体行业研究报告

导语

全球范围来看，2019年，全球特种气体市场规模有望达到469亿美元，2014-2019年的CAGR为7.95%。国内范围来看，2018年，我国电子气体市场规模达到了121.6亿元，较上年同比增加了11.2%，2013-2018年的CAGR达13.3%。

来源：长江证券

气体类资产备受资本青睐。其中特气类资产估值中枢由2019年上半年的50倍PE提升至当前的平均近100倍PE，空分类资产估值中枢由2019年上半年不到 20倍的PE提升至当前30倍以上。

气体:工业的“血液”：特种气体为工业气体的重要分支，其中电子半导体为特种气体的重要市场。

半导体电子特气应用于沉积、光刻、刻蚀、热处理、掺杂等晶圆制造的各个环节。主要的气体大类为氟碳类(刻蚀、清洗为主)、单质类(稀释，绝缘， 氧化)、掺杂类(砷烷、磷烷等)、光刻类(惰性气体混合气)、CVD类(硅烷、锗烷等)等。

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