零部件库存告急，传中芯国际已获14nm及以上成熟制程许可

3月1日消息，根据半导体行业研究机构芯谋研究首席分析师顾文军爆料称，中芯国际已获得部分美国设备厂商供应14nm及以上成熟制程设备的供应许可，并且中芯国际之前一直有申请但未获通过的一类关键设备（用于14nm），此次也获得了通过。

日前摩根士丹利分析师发布研报也曾指出，美国设备供应商近期已经恢复了对中芯国际的零组件供应和现场服务。一定程度上缓解了外界对于中芯国际消耗品储备及设备的担忧。

目前该传闻尚未得到中芯国际方面确认。不过今天中芯国际A股和港股股价均表现不俗，分别上涨4.7%和6.79%。

需要指出的是，在去年12月底至1月初就有多家媒体发文称，中芯国际已获得美国商务部对于其成熟制程所需设备的许可证。随后，芯智讯通过采访多家美系设备厂商，证实了该消息为假消息，并发布了《独家！“中芯国际已获美国成熟制程许可”是假消息！》一文进行辟谣。不过，还是有很多的读者相信之前相关媒体的报道，认为我们才是在“造谣”。对此，我们也只能是很无语。

那么今天传出的“中芯国际已获部分美国设备厂商供应14nm及以上成熟制程设备的供应许可”的传闻靠谱吗？

芯智讯联系了某美系设备厂内部人员求证此事，对方表示“美系设备厂马上会有部分开放，但具体开放到什么程度，要等明天开会后才知道。”

根据芯智讯了解，目前美国设备大厂应用材料似乎已经拿到了部分许可，批准的主要是14nm及以上成熟制程的相关产品。而另外两家美系设备大厂泛林半导体和科磊目前似乎仍在等待批复中。

零部件库存告急，中芯国际急需拿许可

去年12月18日晚间，美国商务部以保护美国国家安全和外交利益为由，宣布将中芯国际及其部分子公司及参股公司列入“实体清单”。这也意味着，美国厂商要想供货中芯国际或与中芯国际合作，必须要取得美国商务部的许可证。并且，美国商务部有特别指出，对于10nm及以下先进工艺所需的物品都会直接拒绝。

随后中芯国际回应称，被美国列入“实体清单”，对公司短期内运营及财务状况无重大不利影响，对10nm及以下先进工艺的研发及产能建设有重大不利影响，公司将持续与美国政府相关部门进行沟通，并视情况采取一切可行措施，积极寻求解决方案，力争将不利影响降到最低。

而根据之前的分析显示，中芯国际现有14nm工艺产线上的一些美系半导体设备及材料，实际也可以被用于10nm及以下制程工艺的生产。因此，中芯国际现有的14nm、N＋1、N＋2工艺后续所需的美系设备及材料的获取可能会存在一定的难度，而28nm及以上的成熟制程所需的设备及材料的许可申请或有很大概率得到批复。特别是在当前全球晶圆代工产能紧缺的情况下。

对于许可证进展，在今年2月初的中芯国际投资人会议上，中芯国际联席CEO赵海军曾表示，正和供应商积极申请、跑流程。此外，赵海军还表示，在被美国列入实体清单之后，设备的等待期会拉很长，主要的设备可能要到下半年才到位。

而在许可证没有下来之前，中芯国际只能依靠现有的设备、零部件及物料的库存来维持运转。

根据芯智讯的了解，在中芯国际被美国商务部列入实体清单之后，美系设备厂虽然中断了设备及零部件的供应，但是很快恢复了对于中芯国际的装机、修机、零部件更换等现场服务，但是设备、零部件及物料仍只能依靠中芯国际自己的库存。

此前赵海军曾表示：“对于保存期较短的化学材料和气体，做到三个月之内不会有中断；对配件，保证6个月之内没有中断。我们现在有工作小组，公司也有统筹，跟供应商开会，做各种各样的方案。”

而就在上周，有中芯国际内部人士向芯智讯透露，中芯国际的现有的零部件库存可能将于6月耗尽。“epi的parts应该能撑到6月，其他的一些零部件可能就比较够呛了。”另据了解，不久前，中芯国际的一条8吋线因缺零部件都不得不停机了。

显然，中芯国际要想维持正常运转以及完成新增产能的扩建，需要尽快解决设备采购及零部件供应问题。

先进制程有望继续推进

如果今天的传闻属实，中芯国际获得部分美国设备厂商供应14nm及以上成熟制程设备的供应许可，并且中芯国际之前一直有申请但未获通过的一类关键设备（用于14nm），此次也获得了通过。那么这也意味着中芯国际不仅成熟制程无忧，同时14nm先进制程也可以继续扩产，N＋1、N＋2先进制程也有望继续推进。

在此前的投资人会议上，赵海军透露，去年年底中芯国际已经完成了14nm工艺每月15000片安装产能的目标。但离规模经济尚远，如需进一步扩产，还需要走出口许可证的申请流程。

赵海军还表示，中芯国际还会考虑加强第一代、第二代FinFET多元平台开发和布建，并拓展平台的可靠性及竞争力。

另外，根据去年底梁孟松在辞职信上透露的信息显示，目前中芯国际的“14nm, 12nm, 及N＋1等技术均已进入规模量产，7nm技术的开发也已经完成，2021年4月就可以马上进入风险量产。5nm和3nm的最关键、也是最艰巨的8大项技术也已经有序展开， 只待EUV光刻机的到来，就可以进入全面开发阶段。”

虽然美国在针对中芯国际的禁令中明确要求，对于10nm及以下先进工艺所需的物品都会直接拒绝。但是，正如我们前面所提到的，中芯国际现有14nm工艺产线上的一些美系半导体设备及材料，实际也可以被用于10nm及以下制程工艺的生产。

一位美系设备厂商内部人士曾告诉芯智讯：“14nm到7nm的设备很多是通用的。中芯国际从N14到N+2制程工艺基本都是用的一样的设备。”

这也意味着，如果中芯国际拿到14nm制程所需的设备的供应许可，那么中芯国际不仅可以继续推进14nm工艺的扩产，同时可以继续推进更为先进的12nm、N＋1、N＋2工艺的规模量产。

需要指出的是，目前还不清楚美国方面是否会严格把持10nm这条红线，禁止中芯国际利用美系半导体设备推进10nm及以下制程，实际上，美国通过要求荷兰限制EUV光刻机对华出口，已经限制了中芯国际向7nm以下先进制程的发展。

即便美国严格把持10nm这条红线，那么中芯国际仍然是可以依托许可证维持14nm及12nm先进制程业务的运转。

编辑：芯智讯-浪客剑

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