HIT太阳电池生产技术研发进展

本文介绍南昌大学光伏研究院热丝CVD装备国产化的改进探索。

➢ HWCVD Vs. PECVD➢ HWCVD Vs. PECVD

➢ 一次8片； 

➢ 可实现 in、ip、双面TCO的不破真空连续镀膜 

➢ 自行设计、国内公司生产

➢ 热丝加工

新热丝做的本征非晶硅的钝化效果明显优于对比热丝。

➢ a-SiOx:H 制备过程中的热丝氧化问题可通过工艺参数的 调节解决➢ 镀膜+热处理 温度协同作用

✓ 仅衬底加热，220℃较优！

✓ 衬底温度100℃、275℃ 热处理最优！

➢ 镀膜+热处理 温度协同作用

黑色：热处理前 红色：热处理后

适当降低基 片温度，镀 膜后热处理 获得较好少 子寿命值。

➢ IN、IP两面连续镀（片子不接触大气）

不破：IN、IP连续镀膜 

破：IN镀膜后退出真空 腔体外，停留40min。 

连续镀明显优

小 结

热丝可以在国内解决；

IN、IP连续镀膜不破真空的设计可行；

镀膜温度与后处理加热的工艺协同调控，钝化效果更优。

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