HIT设备企业研发及供应情况

现有HJT产线的设备中，丝网印刷的国产化程度比较高，其余三个环节进口设备占主导。因此在国产化顺利的情况下，PECVD和PVD两个环节的设备投资有望由国产设备替代，降低成本。PECVD设备涉及到真空、发射和沉积系统、气体监控和控制系统、电气系统以及外腔系统，制造工艺复杂，过去一直被海外企业垄断。国内企业近年来积极投入研发， 虽然目前主要还处于机械加工、集成层面，真空棒、高压管以及气体分析仪等关键核心部件还需进口，但国产化的尝试和进展已经带来了较大成本降低。目前国际上能提供适合异质结制造低温工艺的PECVD设备供应商有美国的应用材料、韩国的Jusung、 瑞士的梅耶博格、瑞士的INDEOtec。中国企业能提供异质结PECVD设备的有中国大陆的钧石能源、中国大陆的理想能源、中国大陆的捷造光电、中国台湾的精耀科技等企业。国内理想万里晖在2018年首批量产PECVD设备下线，价格比国外进口低30%以 上，产品性能也不输国际一流设备。捷佳伟创也同爱康科技等电池厂商共同研发PECVD设备。迈为股份则为通威提供了相关设备，正处于验证阶段。进口的梅耶博格PECVD 设备效率为2400片每小时，1GW的PECVD进口设备价格在5亿元左右。从国内企业研发情况来看，国内企业PECVD的通量有望达到5500-6000片小时，每GW所需要的设备台数从10台缩减至4-5台，PECVD环节设备投资成本有望降低一半左右。TCO镀膜技术有PVD和RPD两种技术路线并行，PVD设备供应商有德国的冯阿登纳，瑞士的梅耶博格，德国的新格拉斯和中国的钧石能源、捷造光电、湖南红太阳等。PVD设备主要由真空形成系统、发射源和沉积系统、沉积环境控制系统、监控系统以及传统系统，目前国内企业在发射沉积以及传动系统已经取得一定突破，而控制和监控系统则受限于气体分析仪和光功率计等设备的国产能力不足。RPD方面，国内捷佳伟创已获得住友公司 RPD授权，正积极研发RPD相关设备。目前HJT量产效率的分水岭是24.5%，要实现25%的量产效率，RPD扮演着非常关键的角色。1GW美耶博格的PVD 环节的投资在1.5亿元左右，捷佳伟创的RPD设备已经在国内产线上验证，通量也由梅耶博格的每小时3000片提升到每小时5500片，同时通过新托盘设计和新增的工艺腔加热系统，可以做到0.6%以上的效率提升。相关阅读
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来源：网络

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