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【读史明智】半个世纪以前中国就有了光刻机,为何现在却全靠进口?

思想火炬 2021-10-12

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 半个世纪以前中国就有了光刻机,现在却全靠进口,原因令人深思。随着中国芯片产业的不断发展,中国对芯片生产设备的需求也逐渐提升。从最初的28nm,再到14nm,最后到现在国际流行的7nm工艺,工艺的升级意味着中国需要更先进的生产设备,而其中最关键的设备无疑是光刻机。


 光刻机也叫做激光雕刻机,是一种专门用来制造微小电子元件的设备,至于这个“微小”要微小到什么程度呢?就拿当今世界上最流行的芯片工艺来说,7nm工艺大概要求大概是人类头发丝的万分之一,可以想象这其中的技术有多难了。
然而,要制造出最先进的7nm芯片,就不能没有光刻机。近段时间,我国中芯国际与荷兰ASML公司闹得很不愉快,原因是中芯国际早在2018年就向荷兰ASML公司订购两台光刻机,其中包括一台EUV光刻机,然而,ASML到现在还没有完成交付。而对于中芯国际公司来说,EUV光刻机是最急需的设备,因为没有先进的EUV光刻机,中芯国际就没办法进行下一阶段的研发。



 解决了芯片技术上的问题,却解决不了设备的问题,这是我国半导体行业的一个“心病”。可能一些小伙伴们就要问了,既然ASML公司不愿意卖给我们,我们为什么自己造呢?中国的光刻机也不一定比荷兰差呀。实际上,中国在光刻机上还真就比荷兰差很多,并且据专家估算,这中间至少有着15年的差距。
 前面也说过了,光刻机是一种高科技产物,要求非常精密,一时间肯定是难以造出来的。而我国实际上也进行过光刻机的研发,并且这件事要追溯到半个世纪以前的60年代。当时,我国的专家们就已经研发出了65型接触式光刻机,而当时荷兰ASML公司还要过5年才成立,说来也是讽刺,既然我国当时领先了荷兰ASML五年,如今怎会变得如此落后呢?


 原来,在80年代,我国光刻机技术出现了一次“滑铁卢”,不知道是科研资金不够还是“飘了”,我国科研人员甚至一度放弃了光刻机的研究,并且倡导从国外进口。可能当时的人没能考虑到进口的弊端,于是自研光刻机的事就一直被搁置了起来,就连前面20年的研究成果,也都付诸东流了。
 也许是中国半导体行业的不景气,就连最后坚守在光刻机行业的武汉三厂最终也选择了转行,并卖起了零食,后来,直到台湾台积电公司开发出了193nm光刻机,国人才终于顿悟,原来直至今日,我国光刻机还是依靠进口。




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