十年磨砺精于微纳 积微成著匠于初心——AEMD平台十周年庆暨二、三期正式运行启动仪式顺利举行

11月26日上午，上海交通大学先进电子材料与器件平台（以下简称AEMD平台）十周年庆暨二、三期正式运行启动仪式在文博楼会议中心顺利举行。中国科学院院士、上海科技大学党委书记李儒新，上海交通大学党委常委、副校长蒋兴浩，上海交通大学原副校长吴旦，财务计划处、审计处处长李维，重点建设办公室主任胡薇，资产管理与实验室处处长陈江平，招投标与政府采购办公室主任杨升荣，分析测试中心党委书记吴淑琴，分析测试中心主任陈峰，科学技术发展研究院副院长、先进技术与装备研究院院长邹卫文，科学技术发展研究院副院长、科研质量管理处处长薛鸿祥，电子信息与电气工程学院院长关新平，集成电路学院常务副院长郭小军，国内兄弟院校微纳平台负责同志、资深学者，电院兄弟单位党政领导及师生代表，AEMD平台现任及历任领导班子，捐赠单位代表、企业用户代表、产业合作伙伴等共同出席仪式。

AEMD平台创建于2012年，于2014年11月正式向校内外用户开放共享服务。平台面向国家重大战略需求，服务学校双一流建设，聚焦微纳技术学科前沿，打破学科壁垒，强化交叉融合，突破关键核心技术，培养国家急需人才，立足于微纳加工领域，致力于为原创性基础研究和前沿性技术突破提供重要支撑。平台现拥有近1800平米东、西区两个净化实验室，建设6、8英寸半导体级实验线各一条，具备从薄膜沉积与生长、光刻、干法刻蚀、湿法清洗与刻蚀、封装、表征与测试等全链式微纳加工工艺能力。经过十年不懈努力，AEMD平台现已成为国内开放程度高、运行良好的知名微纳加工平台，拥有众多校内外科研用户，用户分布遍布全国。

蒋兴浩

上海交通大学党委常委、副校长

蒋兴浩在致辞中表示， AEMD平台十年来始终秉承“支持学科发展、支撑高水平科学研究”的初心，以“服务、互动、创新、满意”的运行管理模式，深耕微纳加工测试领域，至今已发展成为国内开放程度高、运行机制良好的知名微纳加工平台。希望AEMD平台充分发挥交大人“求真务实、努力拼搏、敢为人先、与日俱进”的精神，不断产出国内外基础性、前瞻性、特色性的原创成果，努力建设成为能够实现重大突破的开放性科研平台，深化平台的育人功能，为加快实现我国高水平科技自立自强贡献更大力量。

李儒新

中国科学院院士、上海科技大学党委书记

李儒新对平台在微纳技术领域的贡献给予高度肯定，并表示，上海交通大学自十余年前起就从学科发展的角度对平台设备工艺能力进行前瞻性布局，助力平台在微纳电子材料与器件从研发到产业化链条中发挥重要作用，这一举措极具时代意义。AEMD平台二、三期的正式投入运行，将使平台继续在微纳领域保持科学的前瞻性和技术的引领性，预祝平台在未来迎来更广阔的发展前景。

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中国科学院院士、深圳大学校长、曾任AEMD平台一期、二期项目负责人毛军发特别发来祝贺视频，高度肯定平台建设成果，寄语平台坚持面向国家重大需求，扎实积累，助推关键技术突破。

POINT

随后，一段振奋人心的二期净化实验室“云参观”视频，带领现场嘉宾跟随镜头云游了平台全貌。短短三分钟的视频生动展现了平台二、三期建设成果：从初创期的摸索前进，到如今拥有国内顶尖设备和完善服务体系，平台以十年如一日的精益求精，书写了“积微成著”的精彩篇章。

在全场与会人员的见证下，特邀领导与嘉宾共同点亮象征平台二、三期正式运行启动的仪式装置，携手开启平台“芯”未来。

AEMD平台首任主任、长江学者苏翼凯教授

AEMD平台首任主任、长江学者苏翼凯教授表示，十余年前，AEMD平台在交大相关学科发展急需微纳加工实验工艺平台的背景下应运而生，以服务电子、物理、材料、化工等多学科的原创性和高水平科研为目标一路发展至今，在光电通信、MEMS、封装等领域已取得了显著成果。欲有向上破竹之势，需有向下扎根之力，苏翼凯对AEMD平台十年来取得的成果感慨至深，表示当时立项时的目标期许现已成功实现，这正是一代代平台人“不忘初心，向下扎根”的精神体现。

AEMD现任主任程秀兰

平台现任主任程秀兰做平台建设成效汇报。据悉，平台新增8英寸级高端微纳加工与测试新设备，将有效增强平台在有源电子/光学材料与器件、三维异质集成封装、MEMS、微纳光学、先进纳米材料与器件等研究领域的支撑服务能力，助力上海交通大学的微纳加工能力从无源器件全面提升到有源器件加工水平。

POINT

十余年来，AEMD平台不断精进与创新工艺能力，全力支撑用户科研攻关，取得很大进步。为了展现微纳加工领域的匠人匠心，AEMD平台于会前特向广大用户征集科研成果，举办学生用户成果展大赛，并特别设置用户成果展区，重点展示十年间由平台支持、且极具代表性的用户科研成果，包括新型光电器件、三维集成存储系统、超材料能源器件等尖端领域。

活动现场，与会领导及嘉宾向获奖者颁发荣誉证书，并以此鼓励用户不断产出高水平科研成果。获奖者表示，平台不仅是为他们提供技术支持的关键力量，更是科研探索中的重要合作伙伴。

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本次活动汇聚了多家科研院所、知名企业、领域专家及技术人员参与，部分企业向平台捐赠最新科研仪器设备，助力微纳极端加工技术的突破。

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其中MOT中国合作伙伴、SUSS中国技术总监惠宇平表示，经过十年不懈努力，AEMD平台不仅在硬件设施方面达到了国际一流水准，同时在工艺研发领域亦取得了令人瞩目的成就，并期许未来与AEMD平台能够开展更为深入且广泛的合作。

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吾拾微电子（苏州）有限公司副总裁高道鹏表示，希望通过此次捐赠，能进一步加深与AEMD平台的校企合作，共同致力于微纳先进技术的研发，携手为推动行业发展贡献更多力量。

在接下来的致辞环节中，校内科研团队代表、上海交通大学研究员、青年长江学者张永和企业合作伙伴代表、上海近观科技董事长、首席科学家陈昌博士依次发言。

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他们分别从学术研究和产业化实践的角度，分享了与平台合作的成功经验。陈昌提到：“AEMD平台不仅为我们提供了高精尖的设备和技术支持，更通过开放合作的模式帮助我们实现了产品创新和市场拓展。”这些充分展示了AEMD平台在搭建产学研合作桥梁方面的成效，助力科研创新性成果的产业化进程。

十年磨砺，迈向新征程。活动最后，与会嘉宾前往建设完成的AEMD平台二期净化实验室参观。未来，平台将继续紧贴国家社会发展需求、以服务建设有中国特色世界一流大学为目标，为推动微纳技术研究与应用的进步贡献交大力量。

来源｜先进电子材料与器件（AEMD）平台