【预告】“物理学前沿”学术报告 | 推动芯片革命的微纳米加工技术
报告直播二维码
主题：推动芯片革命的微纳米加工技术
主讲人：崔铮 研究员（中科院苏州纳米所）
主持人：李俊杰 研究员（中科院物理所）
主办方：Frontiers of Physics编辑部，高等教育出版社自然科学与工程技术学术著作出版事业部
报告摘要
微纳米加工技术成就了集成电路芯片60年发展的辉煌历史。微纳米加工技术的核心是各种光刻技术。正是先进的光刻技术使得7nm及更小的集成电路芯片制造成为可能。本报告结合作者最新出版的《微纳米加工技术及其应用》（高教社第4版）,将深入浅出地介绍平面微纳米加工的基本原理，解释7nm以下集成电路芯片制造的技术难点与解决方案，同时介绍微纳米加工技术是如何从集成电路芯片制造发展成为微电子机械（MEMS）芯片、微光学芯片、微流体芯片等广义微纳米系统的制造技术；并结合作者近年来的科研实践，阐述微纳米加工技术在柔性电子与可穿戴电子等新兴领域所发挥的作用。
主讲人介绍
崔铮，1988年博士毕业于东南大学电子工程系，1989-2009年先后在英国剑桥大学微电子中心、英国卢瑟福国家实验室微结构中心工作，2009年10月回国全职加入中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所。主要从事集成电路芯片与微系统制造的光刻技术、柔性电子的印刷增材制造技术等研究。已发表论文280余篇，出版中英文专著11部。自2005年撰写出版《微纳米加工技术及其应用》（高教社）以来，该书已再版3次；2008年出版了英文专著“Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits”(Springer), 该书第2版于2016年出版。
Frontiers of Physics (FOP, IF 2.502)是由教育部发起、高教社出版、Springer海外发行的Frontiers系列英文学术期刊之一，其宗旨是报道国际物理学领域的最新成果和研究进展，突出前沿成果、热点问题和交叉点，主要发表Topical Review, Review, Research Article, 也委托专家组织特定主题的前沿专题。现任总主编：赵光达院士；执行主编：李定平教授；主编：龙桂鲁教授（量子计算与量子信息）、张卫平教授（AMO）、王楠林教授（凝聚态与材料物理）、李海波教授（核物理/粒子物理/天体物理与宇宙学）。期刊已被SCI, JCR, ADS, SCOPUS, INSPEC, Google Scholar, CSCI, CSCD等收录。2013-2018入选中国科技期刊提升计划资助项目，2019年入选中国科技期刊卓越行动计划资助项目。详细请扫描关注：
为满足更多科研工作者的需求，蔻享平台开通了各科研领域的微信交流群。进群请添加微信18019902656（备注您的科研方向）小编拉您入群哟！
欢迎大家提供各类学术会议或学术报告信息，以便广大科研人员参与交流学习。
联系人：李盼 18005575053（微信同号）
欢迎大家提供各类学术会议或学术报告信息，以便广大科研人员参与交流学习。