【直播】【光子学公开课】吉林大学陈岐岱教授：飞秒激光微纳加工技术及应用

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本次课程由中国光学学会主办，华中科技大学、中国科学院上海光学精密机械研究所承办，2021年7月17日9:30授权蔻享学术进行网络直播。

飞秒激光微纳加工技术最小可在深亚波长至纳米尺度诱导光物理、光化学变化而改变局部材料特性，进而通过计算机控制“焦点”图案化扫描，实现高精度三维微纳结构制备。而飞秒激光结合干湿法刻蚀辅助可以大幅度提高加工如蓝宝石、石英等硬脆材料的表面质量和加工效率，实现大面积并行超快激光纳米快速加工。

那么，飞秒激光微纳加工的原理是什么？如何利用飞秒激光实现远场超分辨自由纳米直写？又该怎样结合干湿法刻蚀辅助飞秒激光加工？

飞秒激光微纳加工技术及应用

报告人

陈岐岱 教授 | 吉林大学

时间

2021年7月17日 9:30

基于蓝宝石和石英等硬脆材料的微纳光学元件具有常规光学元件无法比拟的光学成像和光束整形能力，能够大幅度简化光路结构，降低系统重量和尺寸，在航天、航空和激光技术等领域都有紧迫需求。然而，由于尺寸小，无法利用金刚石车床数控铣磨等技术进行加工，如何制备硬脆材料微纳光学元件已经成为一个国际难题。飞秒激光微纳加工技术为解决上述问题提供了新的思路，最小可在深亚波长至纳米尺度诱导光物理、光化学变化而改变使局部材料特性，进而通过计算机控制“焦点”图案化扫描，实现高精度三维微纳结构制备。本课程重点介绍如何利用飞秒激光在材料表面产生的初始纳米损伤作为近场探针，调控后续远场脉冲的偏振/能量来产生动态的近场增强以实现远场超分辨自由纳米直写，进一步结合干湿法刻蚀辅助的飞秒激光加工技术；该技术大幅度提高了飞秒激光加工硬脆材料的表面质量和加工效率，进而实现了大面积并行超快激光纳米快速加工，制备了大面积亚波长光栅结构、高功率激光器匀束器件、达曼光栅和仿生复眼系列高性能光学元件。

报告人介绍

图 | 陈岐岱
陈岐岱，吉林大学唐敖庆特聘教授，博士生导师。主要工作围绕飞秒激光加工的器件功能化、加工效率提升和走向实用化等领域难题开展研究；将飞秒激光加工技术从定性的“形状制造”推向定量的“器件制备”阶段，形成了具有自主知识产权的超快激光微纳加工技术和装备体系。在Nature Comms, Light: S&A, Adv.Mater.和Optica等杂志发表第一或通信作者论文82篇，论文被SCI论文他引7500余次，H-index53。获国家自然科学二等奖一次、教育部和吉林省自然科学一等奖各一次。2018年获国家自然科学基金杰出青年基金项目支持；主持完成了国家自然科学基金重点项目，作为项目首席科学家主持国家重点研发项目。

课程介绍

    2021年7月14日，光子学公开课正式推出“超快光子学及其应用”专题系列课程。    超快激光作为观测、利用、研究非线性光学效应（现象）的主要工具，在基础物理学、信息科学、生物医学、材料科学等交叉领域具有广泛的应用。本专题在承接前面两个超快光学专题的基础上，重点就相关应用进行讲授。首先，中科院物理所魏志义研究员将从超快激光的整体发展角度，为大家讲解飞秒技术、阿秒科学及相关应用。在此基础上，吉林大学陈岐岱教授将为大家介绍飞秒激光微纳加工技术及应用。接下来，北京大学施可彬研究员，将针对非线性光学成像进行深入的剖析讲解。之后，南京大学张勇教授将介绍铌酸锂非线性光子晶体及其在光场调控中的应用。最后，中科院上海光机所王俊研究员将为大家讲解二维半导体非线性光学效应及应用。
光子学公开课技术委员会主任龚旗煌院士 北京大学副主任张新亮 华中科技大学  陆延青 南京大学  仇旻 西湖大学委员徐雷 复旦大学  孙洪波 清华大学  袁小聪 深圳大学  戴道锌 浙江大学卢革宇 吉林大学  刘伟伟 南开大学  何军 武汉大学  胡明列 天津大学张兆田 国家基金委  刘永 电子科技大学  闫连山 西南交通大学秦玉文 广东工业大学  付跃刚 长春理工大学  郭国平 中国科技大学陈钱 南京理工大学  徐坤 北京邮电大学  何祖源 上海交通大学王涌天 北京理工大学  徐立军 北京航空航天大学秘书组成员秘书组负责人：唐明 华中科技大学李涛 南京大学  张紫阳 西湖大学  陈宏伟 清华大学  马仁敏 北京大学时尧成 浙江大学  黄玲玲 北京理工大学  吴晓君 北京航空航天大学王健 华中科技大学  张诚 华中科技大学  胡玥 华中科技大学陶光明 华中科技大学  桂丽丽 北京邮电大学  秦培武 清华伯克利深圳学院 主办单位：中国光学学会承办单位：华中科技大学  中国科学院上海光学精密机械研究所协办单位：《Frontiers of Optoelectronics》编辑部  中国激光杂志社  蔻享学术平台

Frontiers of Optoelectronics (FOE)期刊是由教育部发起、高等教育出版社出版、德国施普林格（Springer）出版公司海外发行的Frontiers系列英文学术期刊之一，以网络版和印刷版两种形式出版。由北京大学龚旗煌院士、华中科技大学张新亮教授共同担任主编。

其宗旨是介绍国际光电子领域最新研究成果和前沿进展，并致力成为本领域内研究人员与国内外同行进行快速学术交流的重要信息平台。该刊的联合主办单位是高等教育出版社、华中科技大学和中国光学学会，承办单位是武汉光电国家研究中心。FOE期刊已被Emerging Sources Citation Index (ESCI), Ei Compendex, SCOPUS, INSPEC, Google Scholar, CSA, Chinese Science Citation Database (CSCD), OCLC, SCImago, Summon by ProQuest等收录。

期刊专栏：

https://www.koushare.com/frontiers/foe

编辑：黄琦

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