xps重叠元素分峰拟合案例介绍

之前我们介绍过多种重叠元素的分峰拟合，比如V和O、Sb和氧、Zn和Sn,针对不同的特点有不同的办法.

如果是单峰和双峰重叠，可以按照双峰间的峰间距和峰面积比进行相应的固定,剩下的即为单峰元素。

如果两种元素峰基本不重叠，可以将不要的元素不积分，只拟合积分的区域。

如果是A元素非光电子谱峰和B元素光电子谱峰有重叠，此时可以参考非线性最小二乘法。

如果觉得这些办法比较麻烦，也可以调整更换不同的轨道，使其不重叠，各种方法并不是唯一的。

今天我们介绍一下另外一种情况，两个双峰元素的重叠，并且更换不同轨道并没有明显效果的情况。

如下图所示，锆 钛 碳 铅四个元素都没有明显的问题，但是Pd有比较明显的问题，扫描3d轨道并没有明显符合双峰特征的图谱产生。

使用ID功能查询后，知道是较大量的锆元素的3p轨道与较少量的Pd3d重叠，使得单独扫描Pd3d不能得到很好的谱图。此时有三种办法：

1. 只拟合Pd3d5轨道，但是由于其与Zr3p3高度重叠，所以需要两个轨道都按照单峰拟合来操作。此方法比较简单，但是由于缺乏双峰参数限制，所以拟合的人为性很大。

2. 将pd3d的默认测试范围扩大，使其覆盖zr3p轨道范围；

3. 单独多测试一个Zr3p轨道代替pd3d谱图；

其实方法2和方法3没有本质区别，当采集到足够覆盖两个元素轨道信息的谱图后，我们就可以分析数据了，接下来，我们将按照两种办法来拟合，有需要的可以选择你认为合适的方法分析数据。

如果按照方法1来分析数据，为了尽量避免可能的人为性误差，首先我们需要知道每个化学态的峰值，尽可能的使添加的峰与标准谱图对应。

比如对于这个数据，首先我们需要根据zr3d轨道信息推断出zr的含量比pd高的多，所以在pd3d谱图中最高峰应该是zr3p，而且根据其他表征的结果，我们推断出pd的化学态，再根据标准谱图（后台回复结合能），我们可以知道相应的结合能数值，然后按照单峰拟合添加峰即可。

如果按照方法2和方法3，此时我们会比方法1更有的放矢，因为我们在加峰的时候需要同时考虑峰间距和峰面积的比例，这样相对方法1来说更准确。但是一般情况下zr测的是3d轨道，他的双峰间距是知道的，但是zr3p双峰间距是很难查询到的，这时候又有几种办法可以借用。

1. 测量锆的标准样品，测试3p轨道，得到他的双峰间距；

2. 之前我们介绍过，如何通过avantage软件来查询其其他光电子谱峰双峰间距（https://www.bilibili.com/video/BV1SB4y1F7da/）。

简单整理如上，其他想到了再说