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NewDamp™弹性隔振器

Newport的NewDamp™弹性隔振器是气动、空气弹簧和其他隔振底座技术的良好备选方案。它具有多种规格和定制设计,安装时不需要电子线路、空气软管或配套硬件。对于不需要气动或主动式隔振系统的较宽低频隔振带宽的应用而言是一个超值之选。


NewDamp™弹性体的阻尼效率要远高于市场上标准的弹性体,并且适用于洁净室中。高阻尼特性为高吞吐量机械提供优异的结构稳定性和快速稳定时间。许多NewDamp™产品可以在负载改变期间提供不变的固有频率(英文全称Constant Natural Frequency , 简写CNF),从而进一步提高系统性能。


NewDamp™ 隔振器带有标准接口,可以安装到面包板、Microlock™系列面包板安装系统以及X95 异型轨道系统上。定制OEM 设计可以根据具体的机械要求进行调整。


超高阻尼材料

NewDamp™ 弹性体室温时在10-100 Hz 频率范围内具有极高的阻尼,振动损耗系数约为0.5 至0.8 —这要比市场上其它弹性体好 2-5倍。高阻尼系数使得它们非常适合用来消除晶圆定位和电子制造应用中极高吞吐量平台所产生的大幅振动。NewDamp™ 弹性体可以安装在设备隔振支架上,甚至定制机械支脚上。


洁净室兼容性

NewDamp™ 由完全洁净室兼容的精心设计的聚氨酯U-16化合物制成。这些产品已用于100级洁净室中来支撑晶圆检测和定位系统。NewDamp™聚合物符合美国国家航空航天局(NASA)释气要求,总质量损失(TML)仅为0.72%;挥发物质冷凝量(CVCM)仅为0.01%(根据美国测试和材料协会的标准E-595-77/84/90进行测试)。


CNF 设计

CNF(不变固有频率)是一个可以降低对负载偏差的灵敏度并提供高模态解耦度的综合特性。大多数弹性体底座的固有频率均随质量增加而降低或随质量减小而升高,这意味着隔振特性将随负载而变化。NewDamp™ CNF 产品使用特殊几何结构的异型弹性体和安装夹具,当负载变化时,硬度也会相应变化,所以硬度与质量之比保持不变。因此,CNF 隔振器的隔振效果优于更软的传统隔振器。


定制设计能力

在客户的隔振系统中,NewDamp™弹性体可以作为弹性元件,与Newport标准接口(Microlock, X95和面包板)一起用作标准隔振器;与Newport定制接口板一起用作定制隔振器。另外,Newport振动控制设计组已开发出专利软件和测试系统来定制可以满足特定机械需要的弹性体,只要您提供负载、冲击响应和共振模式等主要机械特性,Newport便可以快速给出解决方案并生产出相应产品。


如需了解完整解决方案,请联系Newport技术支持团队。

电话:0510-81135000 邮箱:asistech@newport.com



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