微机电系统MEMS技术,是融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。MEMS是一个独立的智能系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。

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1)、磨粒的切削作用，在研具材料较软、研磨压力较大的情况下，磨粒可嵌入研具表面，产生刮削作用。在研具材料较硬时，磨粒嵌入研具表面上很少，而是在被加工表面和研具之间移动和滚动，以其锐利的尖角产生切削;

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而MEMS压电式加速度计采用的结构与压阻式微加速度计类似（如下图），都是悬臂梁末端加质量块的震动系统，二者差别在于镀在梁上的材料不同，压电式加速度计自然只要镀上压电材料，而非压阻材料。

导语：最近几年，无人机风靡一时，几乎无处不在，专业的无人机航拍公司层出不穷，而很多传统影视公司也已经采购无人机并把航拍作为一项业务。毫无疑问，航拍无人机提供了一个以往难以的拍摄角度，同时还非常经济。

有数据显示2022年这一类市场规模将达到32亿美元。此外，近年来ADAS和无人驾驶汽车的发展，也会为汽车引入新的MEMS器件，比如MEMS与激光扫描系统LiDAR结合可获取更高分辨率的环境扫描数据。

Fitzgerald对于MEMS的未来发展成竹在胸，他们致力于将新颖的学术和创业想法应用到小型MEMS晶圆厂中，并使其从中受益，就像使用Soitec的商用硅和绝缘层上覆硅(SOI)晶圆的Rogue

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由于传热快，反应温度和有效反应时间等反应条件可精确控制。通过调节流速大小，可调节反应时间。反应物量少，可减少有毒试剂使用量和降低高温、高压、易爆炸反应的危险性。因此，微反应器特别适用于研究危险反应。

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其次，可以帮助手机摄像头防抖。在我们按下快门时，陀螺仪测量出手机翻转的角度，将手抖产生的偏差反馈给图像处理器，用计算出的结果控制补偿镜片组，对镜头的抖动方向以及位移作出补偿，实现更清晰的拍照效果。

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当线圈中有电流通过时，线圈的周围就会产生磁场。当线圈中电流发生变化时，其周围的磁场也产生相应的变化，此变化的磁场可使线圈自身产生感应电动势(电动势用以表示有源元件理想电源的端电压)，这就是自感。

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在有机金属中负责导通电流的“受困”电子，因为它们在材料晶格上的特殊几何排列而不能处于其能量的最低态。常见的那些能形成玻璃态的液体，在缓慢冷却的过程中，其原子分布排列变得非常规则，最后形成晶体材料。

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的机器人挑战赛，也就是在灾难环境下测试机器人。虽然这些人形机器目前还难以在现场使用，但希望将来能够更方便。毕竟，如果他们必须在为人类设计的空间（有门、手柄和阀门）中行动，那么设计为人形还是很有用的。

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board，PCB)加工成微线圈，如图所示，他们在微线圈上面涂覆一层局部亲水的疏水Teflon膜，于是可以在Teflon表面形成固定位点的水溶液滴，这些液滴分别含有细胞裂解液、杂交液和洗脱液等成分。

【1】https://news.rutgers.edu/taming-%E2%80%98wild%E2%80%99-electrons-graphene/20171022#.WedsEltSy70

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微流控分析技术的重要特点之一就是可通过微电子机械系统(MEMS)技术在集成化方面形成一定规模，这对于实现微流控分析系统的多组平行测定有很大帮助，也可以在很大程度上提高工作的效率、降低有关分析的成本。