【异质结】PECVD在PERC、BSF、HIT电池中的工艺差别

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PECVD设备是最贵的光伏设备之一，其作用是镀膜。不同电池对应不同工艺，不同工艺对应截然不同的PECVD设备，下面是三种不同电池PERC、BSF、HIT所需的镀膜工艺：

就BSF电池，PECVD设备的在其中的主要作用是镀正表面氮化硅减反射膜；在PERC电池工艺中，PECVD设备除了镀正表面减反射膜之外，主要是镀背面钝化膜，包括一层氧化铝膜和一层氮化硅膜，在实际生产中，是先镀一层Al2O3，再双面沉积SiNx；在HIT的核心应用中为非晶硅薄膜沉积。

PECVD沉积原理图

异质结电池片的生产工艺过程相较于其它电池步骤更少，只有制绒、非晶硅薄膜沉积、丝网印刷、分选四个步骤，其核心工艺为非晶硅薄膜沉积。相较于其它两种电池来说，异质结电池所需PECVD设备和现有设备差别加大，国内技术并不成熟，故异质结本土化进程面临严峻的挑战。

异质结电池结构示意图

异质结技术的核心优势是转换效率再次大幅提高，相较于现阶段最流行的PERC电池，异质结预估可产生发电增益10%左右。然而异质结电池目前成本依旧较高，经济性不足，在材料端和设备端均存在降本空间。相较于硅料来说，非硅成本现阶段成本昂贵，降本空间较大，目前PECVD设备占异质结产线价值量的一半，由是设备国产化是异质结被大规模采用的前提。

目前，捷佳伟创系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，成立至今主营生产PECVD等晶体硅电池设备。2017年，公司核心产品 PECVD设备占公司营收45%，其他工艺设备合计占公司营收40%，自动化设备占公司营收逐年提升至15%左右。2017年毛利率较2015年增长 10个百分点。净利率跟随毛利率逐年上升，2018年三季度达到历史最高水平23.8%。

捷佳伟创2018年8月10日登陆创业板，捷佳伟创总经理李时俊先生在接收采访时，讲述了晶体硅太阳能电池生产设备的降本增效之路，以及设备国产化进程。据国盛证券对捷佳伟创财报分析，鉴于其在研发上的持续投入，捷佳伟创有望在异质结时代依旧保持领先地位。

参考来源：国盛证券

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