支持到5nm!芯片工艺又一关键环节自主可控
80多年前,鲁迅在《中国人失掉自信力了吗》里写到,我们自古以来,就有埋头苦干的人,有为民请命的人,有舍身求法的人……这就是中国的脊梁。
在那个羸弱的时代,鲁迅依然坚持中国人要有自信力。
80多年后,当这个民族更加强大更加坚强的时候,我们没有理由不自信。
最近星空君读到一个芯片工程师写的一句话:一代人有一代人的长征,一代人有一代人的使命。我从前辈手里接下了火炬,我也会将火炬继续传递下去。
很多人提起芯片,言必称光刻机、ASML,然而冷知识是,ASML的光刻机本来就是个偶然。
在ASML研发出EUV光刻机之前,光刻机市场以佳能和尼康为主,只不过在赌未来的研发方向的时候,ASML成了那个赢家。
在制程面临物理学极限和其他光刻机厂商穷追猛打的情况下,ASML能否还能引领下个十年是个未知数。
除了光刻机,芯片产业有数十个关键节点。在中国芯片行业受到“卡脖子”以来,这个行业迎来了前所未有的蜕变。从大量的生产环节高度依赖全球产业链,到尽可能的国产自主可控。
在半导体清洗设备、半导体电镀设备和半导体抛铜设备方面,盛美上海已经支持到了28nm及以下制程,其中半导体抛铜设备支持到了5nm甚至3nm制程。
01
从美国盛美到盛美上海
支撑芯片行业的人才努力拼搏的,不仅仅是使命和情怀,还有资本。
1997年,IBM研究院宣布用铜互连技术代替铝互连制技术来生产芯片,让芯片的速度再提高15%。这项技术被称为CMOS7S。
芯片技术从此进入铜质时代。
当时在美国从事半导体设备研究的王晖,基于此理论,创造性地提出了可用于超薄仔晶层的多阳极局部电镀铜技术。
1998年,王晖与一群清华校友在硅谷创立了盛美半导体,主要从事半导体专用设备的研发。
2006年,王晖回国创业,成立了盛美上海。当时中国的芯片产业刚刚起步,还遭到“汉芯事件”的打击。王晖选择了芯片国际巨头无暇顾及但又至关重要节点:半导体清洗设备。
公司的第一个真正意义上的大客户,是韩国海力士。作为存储芯片的巨头,海力士最大的生产基地在无锡,盛美上海和海力士进行了深入合作。海力士2009年引入了盛美的清洗设备,开展产品验证。从产品进厂验证到正式获得订单,盛美花了近2年的时间。
如今,盛美上海的大客户名单里,多了中芯国际、长江存储、华虹半导体等国内芯片巨头。
数据来源:同花顺iFind,制图:诗与星空
公司刚刚发布了2022年年报,2022年营业收入28.73亿元,2021年为16.21亿元,同比增长77.25%;2022年归属于上市公司股东的净利润6.68亿元,2021年为2.66亿元,同比增长151.08%;2022年扣除非经常性损益后的归属于上市公司股东的净利润6.90亿元,2021年为1.95亿元同比增长254.27%。
半导体清洗设备虽然属于非常细分的领域,但技术含量并不低。当资本的浪潮席卷而来的时候,公司凭借核心技术坦然的迎接利润。
年报显示,公司凭借先进的技术和丰富的产品线,已发展成为中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体设备供应商,产品得到众多国内外主流半导体厂商的认可,并取得良好的市场口碑。
随着公司技术水平的不断提高、产品成熟度以及市场对公司产品的认可度不断提升,公司业务开拓迅速,销售收入持续增长,报告期内保持持续盈利。
02
拓展新产品线
1978年,恢复高考第一年,17岁的王晖考入了清华大学精密仪器系。
之后,是他开挂的人生。
1984年赴日本大阪大学主攻半导体设备及工艺的工学硕士及博士。毕业后先入美国辛辛那提大学电机系纳米实验室从事博士后研究,后在美国硅谷从事半导体设备及工艺研发工作。1998年,在硅谷创办ACM Research,发明多阳极局部电镀铜、无应力铜抛光技术及工艺。2006年,带队归国二次创业。
从履历上看,和中微公司的尹志尧很像,中微公司在芯片制造极为关键的蚀刻机领域做到全球领先,甚至给台积电供货。
工业王冠上的珍珠,越来越少了。
公司在深耕半导体清洗设备的同时,在以下几个半导体领域实现了技术突破。
(1)立式炉管设备
(2)涂胶显影 Track 设备
(3)等离子体增强化学气相沉积 PECVD 设备
(4)先进封装用金属剥离湿法设备
(5)新型化合物半导体系列湿法设备
(6)硅材料衬底制造湿法设备:化学机械研磨后(Post-CMP)清洗设备
03
关联交易和资本运作
公司的股权比较集中,其中盛美(美国)持股82.5%,实控人为王晖。
不过,公司和几个芯片巨头息息相关。年报披露的关联方情况显示,NINEBELL(一家工业机器人公司)、合晶科技、上海积塔半导体都是公司的其他关联方。
其中,NINEBELL是公司的工业机器人主要供应商之一,同时也是公司董事长王晖的实控公司。
2月6日,盛美上海公告称,公司拟以自有资金1674万美元(约合人民币1.14亿元)受让Choi Moon-soo、Kang Young-sook和Choi Ho-yeon分别持有的NinebellCo.,Ltd.(以下简称“Ninebell”)13%、5%及2%股权。本次受让完成后,公司将持有Ninebell20%股权。
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