提供微纳制造测量解决方案，「复享光学」做光谱技术的深耕者

复享光学围绕光谱技术、角分辨技术、共焦技术形成自身产品线，为半导体制程提供光谱检测模组和系统解决方案。

文丨郑诗婷

编辑丨江倩君

前瞻产业研究院《中国光谱仪行业市场需求与投资规划分析报告》显示，随着近年来科学技术的发展以及多个领域对光谱仪需求的增加，光谱技术正不断发展。随着“硬科技”时代到来，从集成电路、光电子芯片再到光子芯片及生物芯片，在所有产业布局中，光谱在微纳制造中具有广泛且重要的应用。

上海复享光学股份有限公司（下称：「复享光学」）是一家为半导体产业提供高端光谱仪模组和深度光谱检测设备的科技创新型企业，客户主要涵盖集成电路、光电制造企业及科研院校。不久前在深圳举办的第23届中国国际光电博览会(以下简称“深圳光博会”)上，「复享光学」携带两大新品filmX膜厚测量系统、gora-Lite显微共焦光谱模块亮相，展示能满足新型芯片检测需求的最新光谱智能技术。

光谱技术是把光的能量按照波长进行一维展开的测量技术。在过去，以识别物质成分为主要目的的传统光谱分析技术难以满足日益复杂多样的微纳制程需求，产业迫切需要全新的技术架构。而「复享光学」则从光子学的物理模型出发，结合神经网络分析的光谱智能技术，打造包括频率、动量、位置、偏振、相位等全面而智能的光谱技术、产品和解决方案，从而满足不断缩小的制程及各种新型芯片的检测需求。

（图源：复享光学）

「复享光学」提供的产品不限于光谱仪光源模组，围绕微纳制造的检测问题，基于深入算法研究，提供模块化的系统解决方案。

光谱技术赋能多种应用场景

复享光学聚焦半导体制程应用

光谱检测技术应有场景丰富，常见应用是发光光谱的检测。例如，在农业上，光谱检测技术可分析太阳光谱所含的光谱成分中光质纯度、光强稳定、光源照射能效，从而改进光源得到最合适植物生长的环境；而在半导体制造领域，「复享光学」的光纤光谱仪可以用来检测“人造太阳”——等离子体的发光强度和组分变化。

常见的发光器件还有激光器和屏幕。激光器件被广泛应用于工业、5G通讯和激光雷达等领域，「复享光学」的光纤光谱仪可应用于激光芯片的制造加工过程中，波长、峰宽、边模抑制比等参数控制，帮助产业提高核心器件良率；而消费者更熟悉的各类屏幕，其生产过程也需要光谱仪进行亮度、辐照度、色度等校正。针对屏幕检测应用，复享不仅提供光谱模组，还进一步拓展共焦光谱技术，为MiniLED，MicroLED等未来高分辨显示器件的逐像素校正提供解决方案。

同时，光谱技术不仅可以检测发光器件，也可以用于非发光器件的微纳结构检测。如果将光看作是电磁波，则其会有纳米尺度的一个周期，当光波达到微纳结构的表面时，随相位或偏振的不同，会产生不同的反射或干涉的效果。以实际生活上的例子来看，百元人民币上有一个防伪变色的材料，而这实际是利用了微纳结构来实现变色效果。在半导体制造过程中，光刻、刻蚀、CVD等过程后的膜厚检测和光学关键尺寸量测（OCD）都依赖光谱检测技术实现。

在这一应用领域，「复享光学」不仅为半导体检测设备提供高性能光谱模组，也深入发展角分辨技术，实现对微纳尺度样品的动量空间检测，为芯片制造提供微纳尺度检测解决方案。

（图源：复享光学）

从核心技术出发

面向客户提供从模块到系统的多品类产品

「复享光学」围绕光谱技术、角分辨技术、共焦技术形成自身产品线。在定光栅光谱技术基础上，发展了复杂光谱光路技术。其中，角分辨技术将实空间的光信号转化到动量空间，探测微纳尺度的结构信息。而基于显微镜的共焦技术可实现样品面1um空间分辨。

（图源：复享光学）

从光子学的物理模型出发，「复享光学」再结合神经网络在处理大自由度参数等方面的独特优势，将光谱这一应用超过百年的传统光学技术，发展为具有频率、动量、位置、偏振和相位等更高维度的，并由算法驱动的深度光谱技术。

围绕深度光谱技术，「复享光学」具有两大类形态产品，一类是光谱仪及周边模组，满足不同客户所要求的产品灵活性，根据客户实际需求进行灵活性的搭建推荐。另一大类是面向应用的光谱系统，为特定的测试场景提供复杂光谱系统和深入应用的算法。

（图源：复享光学）

在深圳光博会上，「复享光学」展示了基于光谱仪、光纤、光源搭建的桌面式的膜厚检测系统；此外，所展示用于光芯片检测的R1等产品，也是基于角分辨技术实现对微纳结构的探测。

突破国际环境限制

推动半导体设备国产化

今年4月，「复享光学」完成B轮融资，由中科创星和半导体头部基金领投。「复享光学」光谱仪产品线总经理崔靖认为，「复享光学」首先要服务好中国半导体制造国产化，从中提供核心光谱相关的检测模块部件，从而在核心部件生产方面能够突破国际环境的限制。

在光电子和光芯片领域，「复享光学」瞄准前沿的消费品器件制程领域 。随着下一代信息显示器件市场的爆发，崔靖介绍道，未来，光器件制造检测设备将达到上亿规模的需求。

基于此，复享光学会持续保持服务国产的科研市场。崔靖认为，尽管科研市场本身有一定的天花板，依旧会始终关注学界未来的研究方向，从中寻求新的光谱应用点，从而不断改进产品，引领深度光谱检测产品的发展方向。