「毅」新闻 | 毅达资本持续加码星微科技，助力半导体设备零部件国产化

近日，毅达资本完成对无锡星微科技有限公司（以下简称“星微科技”）的投资。这也是毅达资本自2021年首次投资后，对星微科技实施的第二轮投资。

星微科技成立于2015年，主要面向半导体设备领域提供精密运动控制产品；2017年开始晶圆传输系统产品的设计研发；2019年研发生产晶圆传输系统核心产品晶圆传输机械臂；2020年起，公司的精密运动平台及传输系统在半导体量检测类、泛半导体精密制造等设备实现批量出货。

“半导体设备由成千上万的零部件组成，这些零部件的性能、精度，直接影响着设备的可靠性和稳定性，也是我国在半导体制造能力上升级迭代的关键要素。”星微科技董事长陆敏杰介绍，公司从一开始就选择超精密运动平台和晶圆传输设备两大核心产品，助力被“卡脖子”的半导体设备的国产化。‍

其中，晶圆传输设备，用于晶圆在各个半导体设备间的传输工作，是所有半导体制程、检测设备都必不可少的关键组成部分。星微科技目前已经实现了核心部件的自主化，随着国内半导体设备零部件国产替代加速，量产后相对海外品牌，价格、交期、服务等优势将会凸显。

超精密运动平台控制系统，是晶圆光刻、缺陷检测、芯片封装等设备的核心模块，主要职能是承载晶圆、芯片按照指定的运动轨迹做高速、高精度定位等一系列极致运动。相较于海外厂家大多采取的直销或者代理商模式，星微科技的高精度运动平台具有性价比更高、支持定制化、交货周期更短等优势。

毅达资本先进制造投资事业部徐杰博士认为，半导体设备国产化持续发展，国内半导体设备及零部件企业业绩正逆势增长。星微科技作为国内高精度运动平台和晶圆传输设备提供商，拥有底层设计和制造能力，其生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、工程设计等多个领域，能够与头部半导体设备客户形成高效合作研发和快速迭代。目前公司多款产品，特别是先进制程设备产品已导入头部半导体设备客户，并形成批量销售。本轮为毅达资本对星微科技的第二次投资，公司持续看好星微科技的发展，同时期待星微科技能够继续完善高端零部件产品布局，加快该领域的进口替代。