中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付

在各种高端科技产品中，光刻机的进展在中国备受关注。

2月7日最新消息显示，致力于半导体装备、高端智能装备开发、设计、制造等的中国科技企业——上海微电子今天举行了第一台2.5D/3D先进封装光刻机的发运仪式。

这不仅意味着该企业正式交付首台光刻机，而且也标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式向客户交付。

那么，这台光刻机有什么用呢？报道指出，这种光刻机具有高分辨率、高套刻精度以及超大曝光视场等特点，主要用于高密度异构集成的领域。

对于芯片封装企业来说，这种光刻机不止可以满足其封装超大芯片尺寸的需求，而且还有助于其提高工艺水平，甚至还可以开拓新的工艺。因此，上海微电子正式交付的这台光刻机，对于中国芯片产业的发展无疑有着重要的意义。

据上海微电子此前透露，目前该企业已经收到了多家客户的光刻机订单，可见目前市场对于这种光刻机的需求量仍不小。最后，你觉得中国光刻机制造的前景如何？

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