EUV核心技术迎来突破，北大立功，ASML彻底坐不住了？
EUV光刻机之所以被誉为是工业皇冠上的明珠，是因为该设备遏制着高端芯片制造的“命门”，售价高达1.2亿美元左右，不仅价格昂贵，而且构造极其精密、复杂，全球能生产的只有荷兰ASML一家。
由于美国与其他41国在数十年前就联合签署了“禁止一切尖端技术设备出口中国市场”的《瓦森纳协定》，以至于EUV光刻机这项尖端设备自2015年诞生至今，一直都无缘中国市场。虽然中企在2017年就向ASML采购了一台EUV，且交付了定金，但在美国的干预下，最终也没能到货。
为了突破美芯的封锁，国内市场决定自研高端光刻机，为此，中科院、上海微电子先后派出研发团队去荷兰ASML总部“取经”。可没想到换来的却是冷嘲热讽，ASML技术负责人表示，即便是把设计图纸给中国，你们也造不出来。
更让人感到泄气的是，我国工程院士吴汉明在第五届数科大会上也公开表态，EUV是全球智慧的结晶，10万个精密零件来自己30多个国家、5000千多家企业，仅凭我们一己之力是很难完成的。
难道国产高端芯片真的要止步于EUV光刻机这道技术壁垒面前了吗？答案很显然，不可能。正如比亚迪创始人王传福所说，再尖端的设备也是人造的，而非神造的。
为了实现EUV的国产化，国内顶尖科学们化繁为简，确定了光学物镜、光源系统、双工件台系统这三项EUV核心组件的攻关目标。只要突破了这三大技术，EUV其他边边角角的配件完全就可以按照技术逻辑来进行研发定制。
在明确了破冰思路之后，国内市场可谓是“三军用命”，中科院更是集结了全院优势科研力量，誓要在最短的时间内完成突破。功夫不负有心人，在近些年的不懈努力下，中国科学家接连突破并掌握了双工件台系统和光源系统。
令人振奋的是，近日国内市场再次传出重磅好消息，北大立功，这次是关于光学物镜的技术突破。
据《半导体学报》发布的报告显示，北大电子学实验室高鹏研究团队成功突破并掌握了扫描透射电子显示镜技术。值得强调的是，该项突破还被列入了2021年中国半导体十大年度研究进展！
专家透露，北大此次突破的扫描透射电子显示镜技术，相比德国蔡司传统的谱学技术，前者的准确性、灵活性都有很大的提升，而且应用范围和未来的市场发展空间也更大。也就是说，我们在EUV光学镜头制程技术上，不仅完成了突破，而且还赶超了蔡司。
这意味着，国产高端光刻设备的研发已完成了最后一块技术拼图，接下来所需要做的，就是将已掌握的技术成熟化、商业化，通过各大光刻供应商、整合商的不断测试、优化，为完整的国产EUV设备的落地做准备。
没想到的是，在这关键时刻，荷兰光刻巨头ASML却突然“发难”国产光刻厂商。
据媒体2月12日报道消息显示，ASML公开发声，指责东方晶源微电子在国内市场销售的光刻产品，侵犯到了ASML的知识产权。且已通知部分客户停止与东方晶源的有关业务合作。简单来说，就是ASML方面认为中企侵犯了其光刻专利，并要求其客户终止与东方晶源的合作。
但实际情况是ASML方面并没有实证能够证明中企侵权，而且理由也十分荒谬：东方晶源与一家名叫做XTAL公司曾有直接关联，XTAL在2016年被ASML确认专利侵权，所以判定东方晶源有侵权ASML技术专利的可能。
值得强调的是，XTAL早已破产。由此不难猜测，ASML指责中企侵权的理由是站不住脚的，仅凭臆想便通知客户终止与东方晶源合作，丝毫不顾忌或可能给破冰阶段的国内光刻市场带来的一系列不良连锁反应，这种行为显然非常不合理的。
对此，不少业内人士表示，ASML这是彻底坐不住了？
原因很清晰，在ASML无法向大陆市场自由出货EUV的情况下，一旦我们实现了高端光刻设备的国产化，那么它可能就会被排除在我国市场之外；更关键的是，物美价廉的中国光刻产品在普及之后，ASML的市场地位将会因此受到巨大的冲击。
作为国内光刻市场的头部企业，东方晶源主营的是晶圆良率提升技术设备，是我国高端光刻设备、高端芯片国产化道路上不可或缺的一环。这或许才是ASML突然以专利为由，“发难”国产光刻厂商的主要原因。
解气的是，面对ASML的权利侵权指责，“行的端坐的正”的东方晶源并没有退缩，而是发布公告称，ASML的控告是无稽之谈、是虚假的，未来可能还会继续追究法律责任。
不过，对于专利纠纷问题，我们不得不防，因为ASML近两年在国内市场密集申请了约3千项光刻专利，且在去年7月份应邀赴美。
也就是说，美国完全有可能利用这3千项光刻专利，构筑一道壁垒，从而干预国内光刻市场的健康发展，而且这也是西方国家或企业打压竞争对手惯用的手段。如果对方不予相应的专利授权，那么即便我们突破了EUV，也是很难正常使用的。
当然，这也并非没有解决的办法，只要我们掌握了更多、更有影响力的光刻专利，完全可以通过交叉授权的方式来进行互换，这就需要国内研发团队付出更多的智慧和努力。
虽然这并不容易，但“关关难过关关过、步步难行步步行”，何况如今的中国早已不是百年前的贫弱之时，我们完全有理由相信，中国科技必能披荆斩棘，实现崛起！
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