行业数据|半导体制造工艺电子气体用途（二）：CVD/ALD(1)

接着上周我发布的半导体制造工艺电子气体用途之一：

今天我继续发布第二部分：半导体制造CVD/ALD工艺用的气体列表。不过由于CVD/ALD成膜种类复杂，用到的气体品种也繁多，所以我只能分成两部分来发布

这次先发布第一部分：硅、介质层、金属导电层相关的成膜用气体，供大家参考

还是老样子，麻烦行业内的专家帮忙把关，帮我看看有哪些地方有缺漏和错误，欢迎在公众号留言，或者和我微信交流（我的微信：jamesg003）

谢谢了

其它参考数据：