行业数据|全球半导体领域电子束设备供应商列表

电子束(Electron Beam)技术在半导体制造领域的应用比较广泛。除了电子束曝光设备（EBL：Electron Beam Lithography）以外，还大量应用于一些高端的检测设备和SEM/FIB设备

所以，我最近也整理了一个全球半导体领域基于电子束技术的设备供应商列表，供大家参考

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注）

爱德万以前有变形电子束技术的EBL设备产品，但目前已经停产，只有晶圆和掩模版检测相关设备

ASML收购Mapper以后获得EBL技术，但目前曝光设备已经停产，相关技术被应用于其收购的子公司汉微科的检测设备上

其它参考数据：