【学术视频】中国扫描探针显微术学术交流会 | 中国科大黄文浩教授

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图 | 黄文浩

题   目：扫描探针显微镜国际标准进展

报告人：黄文浩

单   位：中国科学技术大学

时   间：2019-09-28

地   点：中国科学技术大学

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报告摘要

自其发明以来，扫描探针显微镜（SPM）因其超高分辨能力而成为纳米科学技术领域最重要工具之一，并已逐步形成一种高新技术产业。目前，建立完善的纳米计量体系、发展基于SPM的各种纳米测量和校准技术、编制标准规范等已引起广泛重视。国际标准化组织已开始着手进行SPM仪器标准化工作，在2004年增设了ISO/TC201/SC9（ISO/表面化学分析技术委员会/扫描探针显微镜分技术委员会），负责SPM相关国际标准制定工作。本报告中，我们将结合SPM漂移速率测量的国际标准（ISO 11039: Surface chemical analysis – Scanning probe microscopy – Measurement of drift rate）的立项到发布，介绍ISO国际标准的制定过程。对于影响SPM尺寸测量准确性的环境因素，标准化相关制订工作当前尚在进行中。本报告中将介绍在VAMAS项目支持下，我们目前开展的工作环境温 度、湿度对SPM在 x、y 和z方向尺寸测量结果影响的比对测试进展。其中工作环境包括了样品台的局域环境、显微镜工作腔环境和整体工作间环境等几类。 

个人简介

黄文浩，中国科学技术大学教授，1968年毕业于清华大学精密仪器系，自1978年起在中国科学技术大学精密机械与精密仪器系工作，其中1989年至1991年在西班牙马德里自治大学凝聚态材料系STM实验室任访问学者。曾担任2011，2012，2014，2016年纳米制造趋势国际论坛组委会主席，为国际纳米制造学会（ISNM）会士。现任科技部制造与工程领域顾问专家，ISO/TC201专家。主要研究方向：微纳加工和测量，扫描探针显微术，飞秒激光微纳加工，纳米计量及标准化。 

会议简介

2019年9月27日-28日，中国扫描探针显微术学术交流会在中国科学技术大学成功举办。由中国科学技术大学精密科学仪器重点实验室主办，国仪量子协办。本次会议是全国扫描探针显微术学术交流会中断十多年后的首次恢复，会议将延续以往的优良传统，旨在为与会者提供一个学术交流的平台，共同探讨扫描探针显微术领域近年来的学术成果和未来发展新动向。为了稳定、有效地将学术交流活动保持下去，本次会议将酝酿成立全国微米纳米学会扫描探针显微术分会。
会议内容将覆盖SPM在各个领域的研究与应用，包括： 

1. SPM相关基础理论和模拟方法

2. SPM仪器技术进展

3. SPM重要应用

4. SPM标准化

5. 国内外SPM厂商产品推介

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